Đèn sưởi của bộ bay hơi Evatec

Thu, 25 Jun 2026 01:24:19 +0800

Trong quy trình sản xuất, bạn biết rồi đấy: sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,3°C trong quá trình nung phim phản quang cũng có thể khiến độ chính xác của các chi tiết bị sai lệch và gây ra những tổn thất lớn. Các bóng đèn sưởi của Evatec được thiết kế để ngăn chặn sự thay đổi nhiệt độ này ngay từ đầu.

Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng các bóng đèn phát ánh sáng hồng ngoại bước sóng ngắn, kết hợp với hệ thống điều khiển vòng khép kín, giúp duy trì độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bề mặt wafer. Thời gian phản ứng của bóng đèn dưới 200 ms, điều này giúp việc điều chỉnh nhiệt độ diễn ra nhanh chóng – mà không gây ra những sai lệch có thể làm hỏng lớp phim phản quang. Vỏ bóng đèn được chế tạo sao cho phù hợp với môi trường sạch loại 1–100; thiết kế này giúp ngăn chặn sự xâm nhập của bụi bẩn trong quá trình hoạt động kéo dài. Hiệu suất hoạt động của bóng đèn vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ, với mức độ sai lệch nhiệt độ dưới 5%.

Bộ Bay Hơi on Indoor Warm IR Solutions

Đèn sưởi của bộ bay hơi Evatec