Đèn sưởi thử nghiệm đốt cháy wafer

Trên dây chuyền, ngân sách nhiệt của wafer được cố định. Một điểm nóng trong quá trình burn-in, và cơ chế hỏng hóc sẽ lọt vào dữ liệu thay vì bị loại...