http://warm-ir-indoor.com/vi/tags/khu-v%E1%BB%B1c-ph%C3%A2n-v%C3%B9ng/ Recent content in Khu Vực Phân Vùng on Indoor Warm IR Solutions Hugo vi Tue, 09 Jun 2026 01:03:40 +0800 http://warm-ir-indoor.com/vi/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 09 Jun 2026 01:03:40 +0800 http://warm-ir-indoor.com/vi/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Gia nhiệt theo vùng cho nhà máy sản xuất wafer tiên tiến"></p> <p>Trên sàn lithography, một sai lệch 0.3°C trong quá trình soft bake <a href="https://goldisgood.com">photoresist</a> có thể đẩy độ sai lệch chiều rộng đường line qua bước ăn mòn và trực tiếp ảnh hưởng đến sản lượng. Ngân sách nhiệt không cho phép bạn có cơ hội thứ hai. Chúng tôi đã phát triển hệ thống gia nhiệt zoned cho các nhà máy wafer tiên tiến nhằm duy trì nhiệt độ ở mức cần thiết—trên wafer, trên toàn bộ bề mặt, và trong giới hạn quy trình.</p>