http://warm-ir-indoor.com/zh/tags/%E5%88%86%E5%8C%BA/ Recent content in 分区 on Indoor Warm IR Solutions Hugo zh Tue, 09 Jun 2026 01:03:40 +0800 http://warm-ir-indoor.com/zh/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 09 Jun 2026 01:03:40 +0800 http://warm-ir-indoor.com/zh/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="先进晶圆厂的区域加热"></p> <p>在光刻车间，光刻胶软烘过程中温度漂移0.3°C就可能导致线宽在刻蚀环节出现偏差，进而直接影响产率。热预算没有第二次调整的机会。我们为先进晶圆制造厂开发了分区加热系统，<a href="https://henruite.com">以确保温度</a>保持在正确的位置——晶圆表面、晶圆各处以及工艺窗口内。</p>