去离子水干燥灯

在晶圆的表面上，哪怕只有一滴水存在，都足以破坏整个晶圆的加工效果。因此，必须用去离子水进行彻底清洁。如果无法完全去除水分，就会导致污染，进而影响光阻层的附着效果。传统的干燥方式会在晶圆上产生温度梯度，从而干扰后续的烘焙工序。此外，如果加热器不够稳定，其产生的颗粒物也会使洁净室内的粒子浓度超出标准范...