http://warm-ir-indoor.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Indoor Warm IR Solutions Hugo zh Tue, 21 Jul 2026 01:52:48 +0800 http://warm-ir-indoor.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Tue, 21 Jul 2026 01:52:48 +0800 http://warm-ir-indoor.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥炉"></p> <p>如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损害？<br> 干燥MEMS传感器晶圆其实是一项非常微妙的<a href="https://henruite.com">任务</a>。需要让水分<a href="https://o-yate.net">迅速蒸发</a>，但若处理不当，就会给晶圆带来机械应力，从而导致其损坏。</p> <p>我们找到了一个解决方案：使用红外加热器，再配合镀金反射器。这样做的好处在于，热量能够直接作用于晶圆表面，而不是仅仅加热机器内部。</p>