লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ফটোরেসিস্টকে গরম করার প্রক্রিয়াটি কেবল একটি সাধারণ ধাপ নয়; এটা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ একটি ধাপ। সঠিক তাপমাত্রায় ফটোরেসিস্টকে গরম না করলে উত্পাদনের গুণমান কমে যায়। ঐতিহ্যবাহী ওভেনগুলোতে তাপ সঞ্চয় হয়, তাপ মাত্রা ধীরে বাড়ে, আর কণার উৎপত্তির ঝুঁকিও থাকে। IC-এর জন্য তৈরি করা কম্প্যাক্ট ইনফ্রারেড ড্রায়ারগুলো এই সমস্যাগুলো দূর করে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা শর্ট-ওয়েভ, হ্যালোজেন-মুক্ত ডিজাইনের নিয়ার-ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি; এর ফলে শক্তি সরাসরি ওয়েফারে পৌঁছায়। এর ফলে ১০ সেকেন্ডেরও কম সময়ে ওয়েফারের তাপমাত্রা স্থিতিশীল হয়, আর ওয়েফারের বিভিন্ন অংশে তাপমাত্রার পার্থক্য থাকে মাত্র ±০.১°C। প্রতিবার ওয়েফারকে গরম করার সময় তাপমাত্রার পার্থক্য থাকে মাত্র ±০.২°C; ফলে ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে চলে। এই ড্রায়ারগুলো Class 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহার করা যায়; এগুলোতে সিলড কোয়ার্টজ উইন্ডো রয়েছে, আর ল্যামিনার এক্সহস্ট সিস্টেম রয়েছে যা অপারেশনের সময় কণার উৎপত্তি রোধ করে। নিয়ন্ত্রণ করা হয় PID পদ্ধতিতে; ফলে রেসিপি ঠিকভাবে বজায় থাকে এবং প্রক্রিয়ার প্রতিটি ধাপ নজরদারি করা যায়।
কেন এটা উপযুক্ত?
আপনি ২০০ মিমি ও ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফার ব্যবহার করেন; এছাড়া ফটোরেসিস্ট স্তরগুলোও পাতলা হয়। এই ধরনের পরিস্থিতিতে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। এই ড্রায়ারগুলো দ্রুত তাপ সরবরাহ করে; ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়, আর অপ্রয়োজনীয় তাপ উৎপন্ন হয় না। এগুলো ট্র্যাক টুল বা স্ট্যান্ডঅ্যালোন স্টেশনে ব্যবহার করা যায়; আর এগুলোর আকার এতটাই ছোট যে ফ্লোর স্পেস সংরক্ষণ করা যায়। ফলে অপ্রয়োজনীয় কাঁচামাল কম হয়, ওয়েফারের গুণমান ভালো থাকে, আর উৎপাদন প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে চলে। হাজার হাজার বার অপারেশন করার পরও এগুলো নির্ভরযোগ্য থাকে; আর এগুলোর এমিটারগুলো ২৪/৭ অপারেশনের জন্য উপযুক্ত।
কী কারণে এটা নির্ভরযোগ্য?
নিয়ার-ইনফ্রারেড বিকিরণ দ্রুত তাপ সরবরাহ করে; কিন্তু এর ফলে তাপ সঞ্চয় হয়। তাই ওয়েফারের ব্যাকসাইড ইন্টারফেসটি সঠিকভাবে মেলানো দরকার। আমরা স্ট্যান্ডার্ড ও কাস্টম চাক সরবরাহ করি; ফলে ওয়েফারটি সঠিকভাবে ধরা যায়। র্যাম্প রেট ও অতিরিক্ত তাপ নিয়ন্ত্রণ করার জন্য সংক্ষিপ্ত কমিশনিং প্রক্রিয়া প্রয়োজন। বিদ্যুৎ সরবরাহের জন্য ১১০–২৪০ ভোল্ট, কম্প্রেসড এয়ার ও এক্সহস্ট সিস্টেম প্রয়োজন; কিন্তু ইনস্টলেশনের আগে স্থানীয় ভোল্টেজ ও ক্লিনরুমের চাপ যাচাই করা দরকার।