MEMS সেন্সর ওয়েফারগুলোকে দ্রুত শুকানো খুবই কঠিন কাজ। জলটাকে দ্রুত অদৃশ্য করে দেওয়া দরকার; কিন্তু যদি অতিরিক্ত চাপ দেওয়া হয়, তাহলে যন্ত্রটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যাবে।
আমরা ইনফ্রারেড হিটার এবং সোনার আবরণযুক্ত রিফ্লেক্টর ব্যবহার করে এই সমস্যার সমাধান খুঁজে পেয়েছি। লক্ষ্য হলো—শুধুমাত্র যন্ত্রের অভ্যন্তরীণ অংশকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে ওয়েফারটিকেই সরাসরি উত্তপ্ত করা।
কেন সোনা?
বেশিরভাগ মানুষ অ্যালুমিনিয়াম রিফ্লেক্টর ব্যবহার করেন; কিন্তু এগুলো প্রচুর ইনফ্রারেড শক্তি নষ্ট করে দেয়। এটা অপচয় মাত্র।
আমরা উচ্চ-ঘনত্বের সোনার আবরণ ব্যবহার করেছি; কারণ এটা ইনফ্রারেড আলোককে সঠিকভাবে প্রতিফলিত করতে পারে। এটাকে “আরও তাপ যোগ করা” না ভেবে “তাপকে সঠিক দিকে পাঠানো” হিসেবে ভাবা উচিত। আমরা সেই ফোটনগুলোকে সরাসরি ওয়েফারের দিকে পাঠাচ্ছি।
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো—বিদ্যুৎ সরবরাহ বাড়ানোর দরকার নেই; কারণ এতে আরও কার্যকর তাপ পাওয়া যায়।
তাপটাকে সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা
MEMS ক্ষেত্রে নিয়মিততাই সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ। যদি ওয়েফারের একপাশ অন্যপাশের তুলনায় দ্রুত শুকিয়ে যায়, তাহলে ওয়েফারটি বিকৃত হয়ে যাবে। এটা খুবই সমস্যাজনক।
আমরা রিফ্লেক্টরগুলোর গঠন সংশোধন করে এই সমস্যাগুলো দূর করার চেষ্টা করেছি। সোনার আবরণ তাপকে সমানভাবে ছড়িয়ে দেয়; ফলে ওয়েফারটি আরও সমতল থাকে।
“সমস্যা” এবং এর সমাধান
সমস্যা হলো—যখন এত তাপ ওয়েফারে পাঠানো হয়, তখন হিটারটি খুবই গরম হয়ে যায়। এটা উপেক্ষা করা যায় না। আপনাকে কুলিং ফ্যান বা ওয়াটার জ্যাকেটগুলো ঠিকমতো পরীক্ষা করতে হবে; যাতে সেগুলো এই তাপ সামলাতে পারে। যদি বায়ু প্রবাহ কম থাকে, তাহলে ইলেকট্রোডগুলো অতিরিক্ত গরম হয়ে যাবে এবং হিটারটির জীবনকালও কমে যাবে।
আরও গুরুত্বপূর্ণ ব্যাপার হলো—আপনাকে প্রিসিশন PID কন্ট্রোলার ব্যবহার করতে হবে। কারণ সোনার আবরণযুক্ত হিটারটি বিদ্যুৎ পরিবর্তনের প্রতি খুব দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয়; তাই আপনাকে টিউনিং প্যারামিটারগুলো ঠিকমতো সামঞ্জস্য করতে হবে। নইলে আপনি লক্ষ্য তাপমাত্রার বাইরে চলে যাবেন।
একবার সবকিছু ঠিক হয়ে গেলে, আপনি ওয়েফারটিকে নিরাপদ রেখেই শুকানোর সময়কালকে কমাতে পারবেন। এটা সত্যিই একটি ভালো সমাধান।