লাইনে, ফ্যান-আউট রিডিস্ট্রিবিউশনের ক্ষেত্রে থার্মাল কন্ট্রোলই সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ। ইপক্সি মোল্ড কম্পাউন্ড শুকানোর সময় একটি “হটস্পট” তৈরি হয়; ফটোরেজিস্ট বেক করার সময় আবার অন্য ধরনের সমস্যা দেখা দেয়। এছাড়াও লাইন-ওয়াইডথ কন্ট্রোল ও বাম্পগুলোর সমতা বজায় রাখাও গুরুত্বপূর্ণ। হিটারটি প্রতিটি ডাই, প্রতিটি লট, প্রতিটি শিফটে নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখতে হয়।
কী আসলে গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ফ্যান-আউট WLP হিটারটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড হ্যালোজেন কোয়ার্টজ এমিটারগুলোর সাহায্যে তৈরি করেছি। এটা সারফেস-ড্রাইভড হিটিং পদ্ধতি; ফলে থার্মাল ব্যবস্থাপনা সহজ হয়। অ্যাক্টিভ জোনে ±0.1°C এর মতো সমানতা বজায় থাকে। রিসপন্স কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই হয়; যা সফট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলোতে গুরুত্বপূর্ণ। ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 বজায় রাখতে কম গ্যাস নির্গমন ও ধ্রুবক অবস্থায় কোনো কণা উৎপন্ন না হওয়া জরুরি। ফিল্ডে এটি 24/7 চালু থাকে; রক্ষণাবেক্ষণের জন্য হাজার হাজার ঘন্টা সময় লাগে।
কেন এটি উৎপাদনে কার্যকর?
রিডিস্ট্রিবিউশন প্রক্রিয়ায় ফটোরেজিস্ট বেক করা হয়, আন্ডারফিল শুকানো হয়, তারপর বাম্পগুলো রিফ্লো করা হয়। প্রতিটি ধাপই গুরুত্বপূর্ণ। হিটারটি থার্মাল প্রোফাইলকে স্থিতিশীল রাখে; ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো নির্ধারিত মানে থাকে এবং আন্ডারফিল ভলিউমগুলো কম থাকে। সমানতা বজায় থাকার ফলে ওয়েফারের কিনারাগুলো নষ্ট হওয়া কমে যায়; আর পুনরাবৃত্তির ফলে লট-থেকে-লট ট্রান্সফার সহজ হয়। কোয়ার্টজ এমিটারগুলো সরাসরি লক্ষ্য এলাকাকে উত্তপ্ত করে; ফলে পুরো চেম্বারটি উত্তপ্ত হয় না। ফলাফল: প্রতি ওয়েফারে আরও ভালো ডাই পাওয়া যায়, রিওয়ার্কিং কম হয়, আর উৎপাদন সময়ও বাড়ে।
প্রাথমিকভাবে কী করা উচিত?
হিটারটি বিদ্যমান কোটার/বেক ট্র্যাক ও মোল্ড প্রেসগুলোর সাথে ব্যবহৃত হয়; কিন্তু মাউন্টিং ফুটপ্রিন্ট ও অ্যাপারচারগুলো টুলটির সাথে মেলে যাওয়া জরুরি। EMI-সংবেদনশীল এলাকাগুলোর জন্য ডেডিকেটেড পাওয়ার সাপ্লাই ও ক্লাস-কমপ্লায়েন্ট শিল্ডিং প্রয়োজন। যখন সেটপয়েন্ট 250°C-এর বেশি হয়, তখন কোয়ার্টজ ও সিরামিক ইন্টারফেসগুলোর দিকে মনোযোগ দেওয়া উচিত। আগে থেকেই ইন্টিগ্রেশন পরিকল্পনা করলে প্রক্রিয়াটি দ্রুত সম্পন্ন হয়।