در سطح سنگی، حتی وجود یک قطره آب نیز میتواند باعث خراب شدن کل محصول شود. باید از آب بییون برای تمیز کردن استفاده کرد؛ اگر رطوبت به طور کامل از سطح پاک نشود، این امر منجر به آلودگی میشود و در نتیجه چسبندگی فوتورزیست نیز از بین میرود. روشهای معمول خشک کردن، گرادیانهای حرارتی در سطح ویفر ایجاد میکنند؛ این امر میتواند باعث اختلال در فرآیندهای پختن فوتورزیست شود. همچنین، اگر هیترها پایدار نباشند، ذراتی که تولید میشوند میتوانند میزان ذرات موجود در اتاقهای پاک را از حد مجاز فراتر ببرند.
پس چه کاری میتوانیم انجام دهیم؟ ما لامپ خشککن آب بییون را با استفاده از فرستندههای مادون قرمز کوتاهامواج ساختهایم؛ این لامپ بدون تماس با سطح، به سرعت گرما تولید میکند و پاسخ آن در کمتر از یک ثانیه اتفاق میافتد.
یکنواختی حرارتی در سطح ویفر در طول فرآیند، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ بنابراین کنترل ابعاد فوتورزیست حفظ میشود. خروجی لامپ در تمام محدودههای ۱۰٪ تا ۱۰۰٪ ثابت باقی میماند؛ این امر باعث میشود تکرارپذیری فرآیند بالا باشد. بدنه لامپ برای استفاده در اتاقهای پاک کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین ما تأیید کردهایم که این لامپ هیچ ذرهای تولید نمیکند. چگالی انرژی لامپ به گونهای تنظیم شده است که آب سطحی پاک شود، بدون اینکه باعث از دست رفتن حلالهای موجود در فوتورزیست شود؛ بنابراین میزان انرژی مصرفی در حد مجاز باقی میماند.
در فرآیندهای تمیز کردن و خشک کردن ویفر، این لامپ به سرعت و به طور یکنواخت کار میکند؛ هیچ خط یا لکهای روی سطح ویفر باقی نمیماند، حتی قبل از شروع فرآیند پردازش فوتورزیست.
در مراحل پختن فوتورزیست، همین یکنواختی حرارتی باعث کاهش تغییرات ابعادی و افزایش بازدهی میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا گرما مستقیماً به سمت هدف میرود، نه اینکه برای گرم کردن گازهای اطراف صرف شود.
قابلیت اطمینان این لامپ در شرایط کاری ۲۴/۷ اثبات شده است؛ بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، با کمتر از ۵٪ تغییر در خروجی، و هیچ توقف غیرمنتظرهای در خطوط تولید با حجم بالا.
برای نصب این لامپ، نیاز به یک منبع تغذیه جداگانه وجود دارد؛ همچنین باید تنظیمات لازم برای حفظ یکنواختی حرارتی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد انجام شود. این لامپ با رابطهای استاندارد تجهیزات OEM سازگار است؛ اما باید مسیر نوری آن از وجود لایههای آبی یا رطوبت خالی باشد؛ برای جلوگیری از تغییرات رطوبت، باید از سیستمهای تخلیه رطوبت استفاده کرد.
توصیه میشود که فرستندههای لامپ را هر ۱٬۰۰۰ ساعت یکبار کالیبره کنید تا تکرارپذیری فرآیند حفظ شود.