در مورد حرارت
در سطح لیتوگرافی، یک پخت نرم در دمای ۹۵ درجه سانتیگراد اختیاری نیست—این مشخصه است. اگر دما به مقدار ±۰.۵ درجه سانتیگراد تغییر کند، پروفایل فوتورزیست تغییر میکند. کنترل عرض خطی که برای آن تلاش میکنید، خراب میشود. آنچه شما نیاز دارید حرارتی است که به سرعت اعمال شود، پایدار باشد و ذراتی را به اتاق تمیز نریزد. آنچه درون دستگاه اهمیت دارد ما از لامپهای گرمایش مادون قرمز با پاسخ سریع استفاده میکنیم—عناصر هالوژن موج کوتاه در داخل یک پوشش کوارتز با خلوص بالا. این لامپها در میلیثانیه به دما میرسند که کنترل با حلقه بستهای دقیق را به شما میدهد. یکنواختی در سطح ویفر در ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سطح پخت حفظ میشود. هندسه فیلامنت و چیدمان بازتابندهها به گونهای طراحی شدهاند که نقاط داغ و افت کناره را از بین ببرند، بنابراین هر دای به همان بودجه حرارتی دسترسی دارد. این لامپها برای اتاقهای تمیز کلاس ۱-۱۰۰ ساخته شدهاند و ما تولید ذرات صفر را با نظارت درونمحیطی در طول دورههای طولانی تأیید میکنیم. چرا در پردازش فوتورزیست پایدار است در پخت نرم و پخت سخت، تکرارپذیری معیار ارزیابی است. پاسخ سریع زمان خیس شدن را کوتاه میکند، بنابراین زمان چرخه را بدون از دست دادن کنترل پروفایل کاهش میدهید. مواد سازگار با اتاق تمیز و مهر و مومهای محکم از گاززدایی و آلودگی جلوگیری میکنند—شمارش ذرات ثابت میماند و زمان کارکرد ابزار افزایش مییابد. شما همچنین انرژی کمتری مصرف میکنید، زیرا دستگاه گرما را در صورت نیاز تأمین میکند و بین پختها به سرعت خنک میشود، که این باعث کاهش مومنت حرارتی و ضایعات میشود. آنچه باید برای آن برنامهریزی کنید نصب به تطبیق ابزار بستگی دارد: سوکت، ولتاژ و هندسه دریچه. اگر بازتابندهها مطابقت نداشته باشند یا تجهیزات اندازه کافی بزرگ نباشند، عدم یکنواختی مشاهده خواهید کرد. انتظار یک معامله را داشته باشید: چگالی توان اوج به شما سرعت میدهد، اما نیاز به خنکسازی پایدار و اتصالات الکتریکی تمیز دارد. ما نقشههای ابعادی و نقشههای کالیبراسیون برای هر لامپ ارائه میدهیم، بنابراین میتوانید بدون نیاز به دوباره تأیید کل دسته حرارتی، ادغام کنید.