جلوگیری از وجود گرد و غبار: چگونه بتوان به حداقل رساندن آلودگی در فرآیند گرمایش رسید؟
در اتاقهای تمیز کلاس ۱۰۰، حتی یک ذره گرد و غبار نیز میتواند مشکلات بزرگی ایجاد کند. اگر عنصر گرمایشی شروع به تولید ذرات یا گازهای سمی کند، شما نه تنها چند ویفر را از دست خواهید داد، بلکه کل محصولات تولید شده نیز از بین خواهد رفت. این واقعاً یک کابوس است.
به همین دلیل، ما از لامپهای IR ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم.
راز در خود شیشه نهفته است.
شیشههای معمولی پر از ناخالصیهای فلزی هستند؛ وقتی که این شیشهها بارها گرم و سرد میشوند، شروع به ترک خوردن میکنند. البته مقدار ترکها زیاد نیست، اما به اندازهای است که باعث از بین رفتن محصولات تولید شده شود. ما از سیلیکا مذاب استفاده میکنیم؛ این ماده کاملاً تمیز است، هیچ باقیماندهای ندارد، و هیچ ذره گرد و غباری از آن خارج نمیشود.
گرمایش بدون وجود باد.
بهترین نکته این است که این لامپها از انرژی تابشی برای گرم کردن استفاده میکنند؛ بنابراین نیازی به استفاده از هوای مکش برای گرم کردن ویفرها نیست. عدم وجود جریان هوا به معنای عدم ایجاد گرد و غبار در داخل دستگاه است.
این لامپها به سرعت گرم میشوند؛ گرمایش دقیقاً در جایی که میخواهید ایجاد میشود.
اما یک نکته مهم: این لامپها مقدار زیادی انرژی تولید میکنند؛ اگر سیستم خنککننده دستگاه شما مناسب نباشد، این گرما میتواند به الکترونیکهای دستگاه آسیب برساند. بنابراین باید اطمینان حاصل کنید که سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این انرژی باشد.
حفظ تمیزی در بلندمدت.
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی جایگزین لامپهای قدیمی کرد؛ بنابراین نیازی نیست وقت زیادی صرف نصب آنها کنید.
همچنین، ما از سیمهای طلاکوب شده یا سیمهای با کیفیت بالا استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون اکسیداسیون باعث ایجاد ذرات کوچکی میشود که در محیط خلأ میتوانند مشکلاتی ایجاد کنند. با جلوگیری از اکسیداسیون، میتوانیم محیط خلأ را کاملاً تمیز نگه داریم.
نکته آخر: قبل از فعال کردن لامپ، ولتاژ آن را حتماً بررسی کنید؛ اگر ولتاژ بیش از حد باشد، عمر لامپ کوتاه خواهد شد. در واقع، کوارتز میتواند ترک بخورد و در نتیجه خلأ از بین خواهد رفت. این روش خوبی برای گذراندن روز سهشنبه نیست!