دریافت دادههای دقیق مربوط به حرارت برای هیترهای نیمههادی مبتنی بر امواج مادون قرمز
اگر در حال ساخت یک کارخانه هوشمند هستید، احتمالاً متوجه شدهاید که فقط بررسی دما کافی نیست. شما به دادههایی نیاز دارید که به صورت زمان واقعی، اطلاعات لازم را درباره وضعیت ویفر شما ارائه دهند. برای ما، این به معنای استفاده از ترموکوپلهای تخصصی در کنار سیستمهای مبتنی بر امواج مادون قرمز است؛ تا اطمینان حاصل شود که گرمای تولید شده توسط لامپ، دقیقاً به همان شکلی که میخواهید، به سطح ویفر برسد.
جزئیات مربوط به سنسورهای مبتنی بر امواج مادون قرمز
سیستمهای مبتنی بر امواج مادون قرمز، انرژی را با سرعت زیادی منتقل میکنند. برای هماهنگی با این سرعت، به ترموکوپلهایی نیاز است که بتوانند به همان سرعت واکنش نشان دهند.
نکته مهم این است که در سیستمهای دیجیتال، سنسورها فقط اطلاعات مربوط به فعال بودن هیتر را ارائه نمیدهند؛ بلکه به طور مداوم دادههای مربوط به ولتاژ را به PLC ارسال میکنند تا بتواند دورههای تغذیه الکتریکی را به صورت لحظهای تنظیم کند.
اما مراقب “جرم حرارتی” سنسور باشید؛ اگر سنسور خیلی بزرگ باشد، واکنش آن کند خواهد بود. در این صورت، دمای ویفر از حد مورد نظر فراتر خواهد رفت؛ این امر میتواند به خراب شدن ویفر منجر شود. به همین دلیل، ما از ترموکوپلهایی با ضخامت کم استفاده میکنیم؛ زیرا این ترموکوپلها باعث میشوند زمان واکنش سنسور سریع باشد.
استفاده مؤثر از دادهها
ویژگی برجسته کارخانههای دیجیتال، میزان جزئیاتی است که در اختیار شما قرار میگیرد. ما این سنسورها را به سیستمی متصل میکنیم که هر تغییر کوچک در دما را ثبت میکند.
علاوه بر این، این سیستم به شما اجازه میدهد تا بفهمید که قطعات مربوط به سیستم گرمایشی شما در حال فرسوده شدن هستند یا خیر. اگر متوجه شدید که سیستم برای رسیدن به همان دمای قبلی، انرژی بیشتری مصرف میکند، میدانید که قطعات گرمایشی در حال فرسوده شدن هستند. در این صورت میتوانید آنها را در زمانهای مناسب تعویض کنید، به جای اینکه با مشکلات جدی در میانه فرآیند تولید روبرو شوید.
مزایا و معایب (چون هیچ چیز کامل نیست)
دقت، رایگان نیست. آن ترموکوپلهای با حساسیت بالا، بسیار شکننده هستند.
از آنجایی که شما در محیطی با توان بالا کار میکنید، خود سنسورها نیز میتوانند تحت تأثیر گرمای شدید قرار بگیرند. این امر باعث میشود که خواندن دادهها دقیق نباشد.
شما باید مراقب سیمهای مربوط به سنسورها باشید؛ اگر از عایقهایی استفاده نکنید که بتوانند گرمای موجود در محیط را تحمل کنند، این عایقها ذوب خواهند شد. در این صورت، جریان دادهها مختل خواهد شد و شما نمیتوانید از دادهها برای کنترل فرآیند تولید استفاده کنید.