Protéger les composants lors du chauffage des wafer en présence de produits chimiques volatils
soyons honnêtes : chauffer des wafer dans une zone de nettoyage chimique, c’est un peu comme jouer avec le feu. Il y a des vapeurs inflammables dans l’air, et des équipements à haute température se trouvent juste au milieu de tout ça. Si vous utilisez des lampes infrarouges classiques, vous invitez donc presque inévitablement à une catastrophe.
Nous avons trouvé une solution meilleure. Plutôt que de laisser les éléments de chauffage exposés aux éléments extérieurs, nous les recouvrons. Il s’agit donc de contrôler l’espace entre la source de chaleur et les produits chimiques.
Le truc réside dans le revêtement protecteur
Nous plaçons nos lampes infrarouges à l’intérieur de quartz de haute pureté ou de verre spécialisé. Cela fonctionne comme un bouclier protecteur. Cette barrière empêche les agents de nettoyage volatils de toucher la surface chaude de la lampe.
Sans ce revêtement, même une petite fuite pourrait déclencher un incendie. En isolant le filament, on peut faire fonctionner les lampes à pleine puissance, sans craindre que des vapeurs ne transforment le laboratoire en une véritable boule de feu. C’est un vrai soulagement.
Contrôler l’exposition au chaud
La sécurité ne dépend pas seulement du revêtement protecteur. Elle dépend aussi de l’endroit où va la chaleur.
Nous utilisons des émetteurs infrarouges à ondes courtes, car ils sont précis. L’énergie est dirigée directement vers le wafer, sans gaspiller d’énergie à chauffer l’air ou la coque de l’appareil. Cela permet au revêtement en verre de rester beaucoup plus frais. Vous obtenez ainsi la chaleur nécessaire pour le wafer, mais l’air autour reste bien en deçà du point de combustion.
Les compromis (car rien n’est parfait)
Bien sûr, l’ajout d’un revêtement en verre entraîne une légère perte d’efficacité. Une partie de la chaleur ne parvient pas à travers le revêtement.
Pour y remédier, il peut être nécessaire d’augmenter la puissance de la lampe ou de la rapprocher du wafer. Mais voici un conseil : vérifiez votre système de ventilation. Même avec un revêtement protecteur, si la ventilation est insuffisante, des « poches de chaleur » peuvent se former.
Et pour être sûr ? Installez un dispositif de coupure thermique. Ainsi, en cas de panne de la pompe, le système s’arrête automatiquement, évitant ainsi le surchauffage. C’est simple, sûr, et cela vous permettra de dormir plus paisiblement.