Pourquoi nous abandonnons l’air chaud au profit des lampes infrarouges pour le séchage des semi-conducteurs
Mettons les choses au clair : c’est généralement à l’étape de rinçage que tout ralentit. Depuis des années, la méthode utilisée était celle de la circulation d’air chaud. Mais cela signifie en réalité qu’il faut chauffer un volume important d’air rien que pour sécher une puce. C’est une perte de temps et d’énergie.
C’est pourquoi nous avons opté pour des lampes infrarouges étanches à l’eau. Au lieu de chauffer toute la pièce, ces lampes émettent de l’énergie directement sur le substrat. C’est une approche complètement différente.
Il s’agit avant tout de temps
L’air chaud est lent : il doit d’abord chasser l’humidité et chauffer l’air avant que quoi que ce soit ne se produise. Les lampes infrarouges, quant à elles, atteignent immédiatement leur cible. Il s’agit de secondes, pas de minutes. En réduisant ainsi le temps nécessaire par lot, on obtient une productivité beaucoup plus élevée. C’est exactement pourquoi les lignes de production visant des volumes plus importants passent à cet système.
Gérer les problèmes liés à l’humidité
En général, les lampes infrarouges et l’eau ne s’accordent pas bien. Les ampoules standard se brûlent dès qu’elles entrent en contact avec un environnement humide ou avec de l’eau provenant du bain de rinçage. Nous avons résolu ce problème en utilisant des enveloppes en quartz hermétiques et des joints très résistants. Cela permet d’éviter l’entrée de l’humidité et de protéger le filament. On dispose ainsi d’une chaleur intense sans avoir à craindre de courts-circuits causés par de l’eau. Cela fonctionne même juste au-dessus des bains de rinçage.
Quelques points à considérer
Ce n’est pas tout à fait magique : il y a des compromis à faire. Comme les lampes infrarouges dégagent beaucoup de chaleur rapidement, il faut bien gérer la refroidissement. Si l’on augmente trop la puissance des lampes sans contrôler la température autour d’elles, cela peut endommager les composants ou brûler des capteurs voisins. Ce n’est pas idéal.
Pour maintenir la stabilité, nous recommandons d’utiliser un régulateur PID pour ajuster la puissance. Cela permet d’éviter que la surface de la puce ne dépasse la température souhaitée. On conserve ainsi la vitesse de traitement, tout en assurant la stabilité nécessaire pour que le processus se déroule correctement.