בחדרי העיבוד, אתם יודעים את הנהלים: שינוי של 0.3°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לסטיות של ננומטרים בדיוקי העיבוד, וזה יכול לעלות לכם הרבה כסף. נורות החימום של Evatec מיועדות למנוע שינויים אלו מההתחלה.
מה באמת חשוב מאחורי הקלעים אנו משתמשים במקורות אור באורך גל קצר מסוג קוורץ, עם בקרה במעגל סגור. כך, האחידות התרמית ברמת הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C. זמן התגובה קטן מ-200 מילי-שניות, מה שאומר ששינויי הטמפרטורה מתבצעים במהירות – ללא סטיות שעלולות לפגוע באיכות החומרים. גוף הנורה מתאים לשימוש בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, והעיצוב שלה מונע חדירת חלקיקים במהלך תהליכי העיבוד הארוכים. הפלט נשאר יציב לאורך יותר מ-5,000 שעות, כאשר הסטיות נשמרות בטווח של 5%.
למה זה חשוב בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט, טמפרטורות החימום קובעות את הממדים החשובים ואת רמת ההידבקות של החומרים. Evatec מאפשרת שליטה אמינה בטמפרטורות, כך שהדיוק נשמר מלאסט לאסט. החימום מתבצע במהירות ובאופן יציב, מה שמקצר את זמן העיבוד ומפחית את צריכת האנרגיה לכל ואפר.
בקווי אריזה, אותה דיוק מאפשר שליטה טובה יותר בתהליכי הייבוש של הפולימרים, מה שמפחית את הצורך בעבודות תיקון. כך ניתן להשיג פחות סטיות, פחות לוטות פרודוקציה, וזמן פעולה צפוי.
מה צריך כדי שהכל יעבוד כמו שצריך הנורה מתאימה בקלות למערכות החימום של Evatec, אך היא זקוקה למערכת אספקת חשמל יציבה ולמגעים חשמליים נקיים כדי שהבקרה תהיה אמינה. גם בחירת החומר שממנו עשוי הוואפר ורמת ההקרנה שלו חשובים – יש לנו הנחיות לשימוש באלומיניום, קרמיקה ומשטחים מצופים.
יש לבצע כיול רבעוני ובדיקה שנתית של הנורות. זה מאפשר שמירה על אחידות גבוהה ועל מספר החלקיקים ברמה הרצויה.