במחלקת הייצור, שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לפסולת של כל המוצרים שנוצרו. התפלגות הטמפרטורה ברמת הוואפר אינה עניין של המלצה – זו דרישה הכרחית. עיצבנו את פלטפורמת החימום בהתאם לדרישה זו.
מבחינה טכנית, מה שחשוב הוא שמערך הפולטים באור האינפרא-אדום שלנו מאפשר שמירה על אחידות הטמפרטורה ברמת הוואפר בטווח של ±0.1°C בכל אזור הפעילה. רמת הדיוק של הטמפרטורה נשארת בטווח של ±0.2°C בין בצקים שונים. קצב העלייה בטמפרטורה הוא 10°C/שנייה, ללא עליות יתר, כך שהפרופיל התרמי נשאר יציב במהלך תהליכי החימום. המערכת מתאימה לחדרי ייצור מסוג Class 1–100, והאזור החם מעוצב כך שלא ייווצרו חלקיקים – כך שרמת הזיהום על פני השטח נשארת מתחת ל-1 חלקיק לוואפר. המערכת פועלת באופן רציף, עם זמן שירות של יותר מ-50,000 שעות. ארכיטקטורת החימום מאפשרת יציבות בהספק החימום למשך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי של פחות מ-5% בעוצמת החימום.
בתהליך הליתוגרפיה, הדיוק הזה משפיע על התוצאות – פרופילי הפוטורזיסט נשארים בתוך הטווח המותר, שליטה בממדים הקריטיים משתפרת, וכמות העבודה הנדרשת לתיקון פוחתת. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שאנו מתאימים את רמת החימום לרמת הספיגה של הפוטורזיסט, כך שהאנרגיה התרמית שנדרשת לכל ואפר פוחתת, מבלי לפגוע בקצב הייצור. האמינות של המערכת מבטיחה שהמודולים השונים ימשיכו לפעול כרגיל, שעה אחר שעה.
להלן הפרטים הטכניים:
חימום באמצעות אור אינפרא-אדום דורש קו ראייה ברור ומסלול אופטי מבוקר. יש צורך ברכיבים מחזירים אור ובמערכות הגנה שיתאימו לספקטרום הפולטים – אחרת ייווצרו אזורים חמים. האינטגרציה של המערכת דורשת אספקת אנרגיה נפרדת ובידוד תרמי מהמודולים הסמוכים. האזור החם דורש תחזוקה תדירה כל 8,000 שעות, כדי לשמור על אחידות הטמפרטורה.
יש לתכנן זמן קצר להפעלת המערכת, בהתאם לנהלי הייצור. המערכת תפעל רק כאשר כל הרכיבים – הפולטים, החיישנים והבקר – מותאמים לוואפר.