लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करना कोई साधारण चरण नहीं है; बल्कि यह ऐसा महत्वपूर्ण चरण है जिसे नजरअंदाज नहीं किया जा सकता। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान थोड़ा सा भी अंतर होने से क्रिटिकल डाइमेंशन कोन्ट्रोल प्रभावित हो जाता है, एवं साइडवॉल प्रोफ़ाइल भी बिगड़ जाता है। पारंपरिक ओवनों में ऊष्मा संचय होता है, तापमान धीरे-धीरे बढ़ता है, एवं कणों का जोखिम भी रहता है। IC के लिए बनाए गए इस कॉम्पैक्ट इन्फ्रारेड ड्रायर में ऐसी समस्याओं को दूर किया गया है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव, हैलोजन-रहित डिज़ाइन वाले नियर-इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं; इससे ऊर्जा सीधे वेफर में पहुँचती है। इससे 10 सेकंड से भी कम समय में तापमान स्थिर हो जाता है, एवं वेफर पर ±0.1°C की समानता बनी रहती है। शॉट-टू-शॉट तापमान में भी ±0.2°C की समानता बनी रहती है; इससे फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में कोई त्रुटि नहीं होती। यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है; इसमें सील्ड क्वार्ट्ज विंडो एवं लैमिनर एक्सहॉस्ट पथ है, जिससे संचालन के दौरान कोई कण नहीं उत्पन्न होता। नियंत्रण PID तकनीक से होता है, इससे रेसिपीओं को ठीक से लागू किया जा सकता है।
यह क्यों उपयुक्त है?
आप 200 मिमी एवं 300 मिमी आकार के वेफरों का उपयोग कर रहे हैं; ऐसी स्थिति में थर्मल बजट का ध्यान रखना आवश्यक है। यह ड्रायर तेज़ी से तापमान बढ़ाता है, इससे समय बचत होती है, एवं अनावश्यक ऊर्जा भी बचती है। यह उपकरण ट्रैक टूल्स या स्टैंड-अलोन स्टेशनों में भी उपयोग में आ सकता है; इसका आकार इतना छोटा है कि फर्श स्थान भी बच जाता है। इससे वेस्ट मटेरियल कम होता है, CD वितरण समान रहता है, एवं उत्पादन भी बेहतर होता है। यह उपकरण दस हजारों बेक साइकलों तक कार्य कर सकता है; इसके एमिटरों की आयु 24/7 संचालन के लिए पर्याप्त है, एवं रखरखाव के लिए भी समय कम लगता है।
जो चीजें इसे विश्वसनीय बनाती हैं…
नियर-इन्फ्रारेड ऊर्जा तेज़ी से गर्मी पैदा करती है; इसलिए थर्मल कपलिंग पर ध्यान देना आवश्यक है। चक में वेफर के पिछले हिस्से के साथ संपर्क होना आवश्यक है – हम मानक एवं कस्टम चक भी उपलब्ध कराते हैं। अपने विशिष्ट रेजिस्ट स्टैक के लिए रैम्प रेट एवं ओवरशूट को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। ऊर्जा स्रोत 110–240 V, कंप्रेस्ड एयर एवं एक्सहॉस्ट हैं; लेकिन इंस्टॉलेशन से पहले स्थानीय वोल्टेज एवं क्लीनरूम के दबाव की जाँच आवश्यक है।