फैब फ्लोर पर, आपको पता ही है कि क्या होता है… अगर फोटोरेजिस्ट को सही तापमान पर न रखा जाए, तो पूरा बैच बर्बाद हो जाता है। ऑप्टिकल वेफरों के प्रसंस्करण हेतु आवश्यक है कि तापमान एकसमान, स्थिर एवं स्वच्छ हो। हमने ऐसा ही हीटर बनाया है… क्योंकि यहाँ कोई भी गलती स्वीकार्य नहीं है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमने इस सिस्टम को वेफर की सतह पर ±0.1°C की स्थिरता के साथ संचालित किया… ताकि फोटोरेजिस्ट का तापमान नियंत्रित रहे। हीटर का डिज़ाइन क्लास 1–100 के स्वच्छ कमरों में उपयोग हेतु उपयुक्त है… और हर गर्म सतह से कोई भी कण नहीं निकलता। तापमान-प्रतिक्रिया बहुत तेज़ है… इसलिए लिथोग्राफी प्रक्रियाओं के दौरान सेटपॉइंट स्थिर रहता है।
ऑप्टिकल वेफरों के प्रसंस्करण में यह डिज़ाइन क्यों कारगर है? क्योंकि तापमान की एकसमानता के कारण उत्पादन निरंतर बना रहता है… और तापीय असमानताओं के कारण होने वाले पुनर्कार्यों की संख्या कम हो जाती है। यह डिज़ाइन सेटपॉइंट को स्थिर रखता है… इसलिए ऊर्जा की बर्बादी नहीं होती… और इसकी देखभाल भी आसान है… इसलिए यह 24/7 काम कर सकता है।
परिणामस्वरूप, आपको विश्वसनीय आउटपुट मिलता है… और प्रति वेफर लागत भी नियंत्रित रहती है।
ध्यान रखने योग्य बातें:
हीटर तो ठीक से काम करता है… लेकिन आपके साइट की उपकरणें भी निर्धारित वोल्टेज एवं कूलिंग सिस्टम के अनुरूप होनी चाहिए… ताकि तापमान एकसमान रहे। एक्सहॉस्ट व्यवस्था की योजना पहले ही बना लेनी चाहिए… और उपकरणों की स्थापना हेतु आवश्यक टोलरेंस भी निर्धारित कर लेनी चाहिए… क्योंकि सटीक यांत्रिक संरेखण ही वेफर पर तापमान-संबंधी समस्याओं को दूर रखता है।
यदि तापमान-प्रोफ़ाइल सही रहे, तो यह हीटर प्रक्रिया हेतु आवश्यक स्थिरता प्रदान करेगा।