धूल को रोकना: शून्य-संदूषण वाली हीटिंग प्रणाली कैसे प्राप्त करें?
क्लास 100 क्लीनरूम में, एक भी धूल कण बहुत बड़ी समस्या है। यदि हीटिंग तत्व से कण निकलने लगें, तो आपको सिर्फ कुछ वेफर ही नहीं, बल्कि पूरा उत्पादन ही बर्बाद हो जाता है। यह वाकई एक भयावह स्थिति है।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज IR लैंपों का ही उपयोग करते हैं।
रहस्य तो काँच में ही है।
सामान्य काँच में धात्विक अशुद्धियाँ होती हैं। जब यह गर्म एवं ठंडा होता रहता है, तो इससे कण निकलने लगते हैं। ऐसा थोड़ा ही होता है, लेकिन यह भी उत्पादन को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। हम फ्यूज्ड सिलिका का ही उपयोग करते हैं। यह शुद्ध होता है; इससे कोई अवशेष नहीं रहता, और न ही वेफरों पर कोई धूल जमती है।
बिना हवा के ही ऊष्मा।
इन लैंपों में विकिरण द्वारा ही ऊष्मा प्रदान की जाती है। चूँकि ऊर्जा विकिरण के माध्यम से ही आती है, इसलिए वेफरों को गर्म करने हेतु बलपूर्वक हवा भेजने की आवश्यकता नहीं है। हवा के बिना धूल भी नहीं उड़ती।
ये लैंप बहुत तेजी से गर्म हो जाते हैं… आपको वांछित स्थान पर तुरंत ही ऊष्मा प्राप्त हो जाती है।
लेकिन ध्यान रखें: ये लैंप बहुत अधिक ऊर्जा उत्पन्न करते हैं। यदि आपके उपकरण में ठीक से वेंटेशन न हो, तो यह ऊर्जा आपके इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों को नष्ट कर सकती है। आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपकी शीतलन प्रणाली इस ऊर्जा को संभाल सके… वरना आप एक समस्या से दूसरी समस्या में पड़ जाएंगे।
लंबे समय तक स्वच्छ रखना।
हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि इन्हें आसानी से ही लगाया जा सके… इसलिए आपको इन्हें लगाने में पूरा दिन खर्च करने की आवश्यकता नहीं है।
हम सोने से ढके या उच्च-गुणवत्ता वाले मिश्रधातुओं से बने तारों का भी उपयोग करते हैं… क्योंकि ऑक्सीकरण के कारण छोटे-छोटे कण बन जाते हैं, जो वैक्यूम चैंबर में घूमते रहते हैं। ऑक्सीकरण को रोककर हम चैंबर को स्वच्छ रखते हैं।
एक और बात… स्विच चालू करने से पहले अवश्य ही वोल्टेज जाँच लें। यदि आप उच्च-शुद्धता वाले लैंप पर अत्यधिक वोल्टेज लगाएंगे, तो लैंप की आयु कम हो जाएगी… और बुरी बात यह है कि क्वार्ट्ज में दरारें पड़ सकती हैं… जिससे वैक्यूम चैंबर खत्म हो जाएगा। यह तो मंगलवार को बिताने का अच्छा तरीका नहीं है।