クリーンルーム用のトロリーで手をやけどすることはもうやめましょう。
もし、これまで標準的なクリーンルーム用トロリーを使ったことがあるなら、その問題はよくわかるでしょう。ヒーターによって部屋全体が熱くなり、内壁がその熱を吸収します。すると、いつの間にかトロリーの本体が発光するほどになります。実際にそのトロリーに触れる作業員にとっては、これは悪夢です。
私たちは、もっと良い方法があるはずだと考えました。部屋全体を温める代わりに、実際に熱が必要な部分だけを温めるのです。
実際の動作原理
これは、電球の代わりに懐中電灯を使うのと同じです。通常のヒーターは空気やトロリーの金属表面を温めますが、私たちは短波赤外線ランプを使用します。この光は空気やトロリーの壁を無視して、直接ワークピースに当たります。エネルギーは、ターゲットに当たった時に初めて作用します。その結果、部品は熱くなりますが、トロリーの外側は触っても冷たく残ります。
適切な設定方法
最も良い点は、スペースを大幅に節約できることです。熱が集中しているため、巨大で重たい断熱材や大音量の冷却ファンは不要です。そして、クリーンルームではファンは敵です。ファンは粒子を舞い上げてしまいます。
また、出力を強くするだけではいけません。ワット数には注意が必要です。過度に強くすると、ウェーハに熱点ができたり、目標温度を超えてしまったりします。PIDコントローラーの調整も重要です。赤外線ランプは反応が速く、従来のヒーターよりもずっと速いので、制御装置もそれに合わせて調整が必要です。
なぜこれが便利なのか
これにより、チームの負担が減ります。機器を移動させる際に手をやけどする心配もありません。構造もシンプルになります。壁が熱を吸収しないため、内側の断熱材も不要です。さらに、施設管理者にとっては、余分な熱が部屋中に散らばらないため、HVACシステムの負担も大幅に軽減されます。
これは、ハードウェアを複雑にすることなく、より効率的でクリーンな方法です。