ウェーハ処理装置用温度センサー

ほこりを防ぐ：実際にゼロ汚染の加熱を実現する方法 クラス100のクリーンルームでは、たった一つのほこりの粒子でも大問題です。もし加熱要素から粒子が飛び出したり、ガスが発生したりすると、数枚のウェーハだけを失うだけでなく、全体の製品を台無しにしてしまいます。これは本当に悪夢的な状況です。 だからこそ...