ほこりを防ぐ：実際にゼロ汚染の加熱を実現する方法
クラス100のクリーンルームでは、たった一つのほこりの粒子でも大問題です。もし加熱要素から粒子が飛び出したり、ガスが発生したりすると、数枚のウェーハだけを失うだけでなく、全体の製品を台無しにしてしまいます。これは本当に悪夢的な状況です。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。
秘密はガラスにあります。
通常のガラスには金属不純物が含まれています。何度も加熱・冷却を繰り返すと、ガラスが剥がれ始めます。量は多くないものの、それだけで生産効率が低下してしまいます。私たちはフューズドシリカを使用しています。これは純粋で、ウェーハに残渣や汚れが残らず、粒子も一切飛び出しません。安定して動作します。
風のない加熱
最も良い点は、これらのランプが放射熱を利用していることです。エネルギーが放射によって伝わるため、ウェーハを温めるために強制送風を行う必要はありません。空気の流れがないため、装置内に溜まりやすいほこりも舞い上がりません。
急速に温度が上昇します。瞬時に、望みの場所に熱を届けることができます。
ただし、注意点があります。これらのランプは大量のエネルギーを放出します。もし装置の冷却機能が十分でなければ、その熱が電子部品に影響を与えてしまいます。必ず冷却機能が十分であることを確認してください。さもなければ、別の問題が発生するだけです。
長期間にわたって清潔を保つ
これらのランプは、そのまま交換可能に設計されているため、設置に時間を費やす必要はありません。また、金メッキや高品位の合金を使用しています。なぜかというと、酸化によって微細な破片が生じ、それが真空中で浮遊するからです。酸化を防ぐことで、チャンバーを常に清潔に保つことができます。
最後に、スイッチを入れる前に必ず電圧を確認してください。高純度のランプに過剰な電圧をかけると、ランプの寿命が短くなってしまいます。さらに悪いことに、石英が割れてしまい、真空状態が崩れてしまいます。火曜日をこんな風に過ごすのは良くありません。