기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 가열하세요.
반도체 공장에서 일해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼의 온도를 높여야 하는데, 대부분의 적외선 램프는 마치 전구와 같아서 열이 모든 방향으로 퍼져나갑니다. 이는 낭비일 뿐만 아니라, 장비의 외부 케이스가 거대한 라디에이터가 되어 주변에 있는 사람들에게 위험을 초래할 수 있습니다.
그래서 우리는 탄소섬유로 만들어진 적외선 램프를 사용하기 시작했습니다.
실제 작동 원리
텅스텐이나 할로겐선은 필요 없습니다. 우리는 탄소섬유 발광체와 특수 반사기를 함께 사용하여 적외선 에너지를 좁고 집중된 광선으로 만듭니다. 마치 투광등 대신 손전등을 사용하는 것과 같습니다. 열이 장비의 벽면으로 퍼지는 대신, 직접 웨이퍼로 전달됩니다. 그 결과, 장비의 외부 케이스는 차갑게 유지됩니다. 이는 현장에서 일하는 사람들에게 큰 도움이 됩니다.
단점도 있습니다
이 램프들은 고밀도의 열을 생성하도록 설계되었습니다. 보통 단파 방사를 위해 사용되므로, 온도 상승 속도가 매우 빠릅니다. 하지만 이 강력한 성능은 양날의 검과 같습니다. 광선이 너무 집중되어 있기 때문에 정밀도가 매우 중요합니다. 목표물에서 단 몇 밀리미터만 벗어나도 웨이퍼에 과열 부위가 생길 수 있습니다. 설치 시 주의가 필요합니다. 마운팅 브래킷은 반드시 견고해야 하며, 온도 상승 속도를 조절하기 위해 PID 컨트롤러를 세밀하게 조정해야 합니다.
설치 방법
좋은 점은 이 램프들을 기존의 구식 가열 요소들과 바꾸는 것이 그다지 복잡하지 않다는 것입니다. 우리는 이 램프들을 기존 가열 요소들을 대체할 수 있도록 설계했습니다. 게다가, 시설 관리자 입장에서도 장점이 있습니다. 기계 전체가 열에 노출되지 않으므로, 냉각수 시스템도 더욱 효율적으로 작동할 수 있습니다. 냉각 펌프도 휴식을 취할 수 있으며, 내부 전자 부품들도 지속적으로 과열되는 상황을 피할 수 있습니다. 더 안전하고, 운영 비용도 절감되며, 당연히 더 합리적인 선택입니다.