먼지를 막는 방법: 진정한 제로 오염 상태의 가열 방법
클래스 100급 청정실에서는 단 한 알의 먼지라도 치명적인 문제가 됩니다. 만약 가열 요소에서 입자나 가스가 발생한다면, 그것은 단순히 몇 개의 웨이퍼를 잃는 것이 아니라, 전체 제품을 버려야 하는 상황이 됩니다. 정말 끔찍한 일입니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다.
비결은 바로 유리에 있습니다.
일반 유리에는 금속성 불순물이 가득합니다. 이 유리가 계속해서 가열되고 냉각되면서 조금씩 부서지기 시작합니다. 그 양은 그다지 많지 않지만, 그래도 웨이퍼의 품질을 망칠 수 있습니다. 우리는 융합된 규소를 사용합니다. 이 물질은 깨끗하며, 웨이퍼에 어떠한 잔류물도 남지 않고, 입자가 떨어지는 일도 없습니다. 그저 그 자리에 그대로 있을 뿐입니다.
바람 없이도 열을 공급할 수 있습니다.
가장 좋은 점은, 이 램프들이 복사열을 이용한다는 것입니다. 에너지가 복사 형태로 전달되기 때문에, 웨이퍼를 따뜻하게 하기 위해 강제로 공기를 보낼 필요가 없습니다. 공기가 움직이지 않으므로, 장비 안에 숨어 있는 먼지가 날아다니는 것도 없습니다.
또한, 이 램프들은 매우 빠르게 온도가 상승합니다. 원하는 위치에 정확하고 즉시 열을 공급할 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 이 램프들은 엄청난 양의 에너지를 방출합니다. 만약 장비의 환기 시스템이 제대로 작동하지 않는다면, 그 열이 전자 부품에 직접 전달됩니다. 반드시 쿨링 시스템이 그만큼의 열을 감당할 수 있도록 해야 합니다. 그렇지 않으면 다른 문제가 생길 수 있습니다.
장기적으로 청결하게 유지하기
우리는 이 램프들을 그대로 교체할 수 있도록 설계했습니다. 그래서 설치에 시간을 낭비할 필요가 없습니다.
또한, 금 도금된 선이나 고급 합금 선을 사용합니다. 왜냐하면 산화작용으로 인해 작은 입자들이 생기는데, 이 입자들은 진공 상태에서 계속 날아다닙니다. 산화를 막음으로써 진공 상태를 항상 깨끗하게 유지할 수 있습니다.
마지막으로, 스위치를 켜기 전에 반드시 전압을 확인하세요. 고순도 램프에 과전압이 가해지면 램프의 수명이 단축됩니다. 더 심한 경우, 석영이 파괴될 수 있으며, 그러면 즉시 진공 상태가 깨집니다. 화요일을 그런 식으로 보내는 것은 좋지 않습니다.