램프 고장으로 인해 웨이퍼의 생산 효율이 떨어지는 것을 막으세요.
진공 챔버 내에서 대량 생산을 진행할 경우, 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 악몽과도 같습니다. 석영관이 깨지면 기계가 멈추는 것은 물론, 웨이퍼들도 파편에 의해 손상됩니다. 한 번만 고장 나도 전체 생산물이 버려지게 됩니다.
우리는 이러한 상황을 방지하기 위해 특별히 설계된 적외선 히터를 사용합니다.
왜 석영관이 고장나는가?
진공 환경에서는 열이 밖으로 나갈 곳이 없습니다. 그래서 하드웨어에 큰 부하가 가해집니다.
우리는 금속 결함이 생기지 않도록 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 하지만 그냥 석영을 사용하는 것이 아니라, 벽의 두께를 신중하게 조절합니다. 너무 얇으면 깨지고, 너무 두꺼우면 열 전달이 잘 되지 않습니다.
또한, 최대 출력을 원한다면 내부 압력도 높아집니다. 안정성을 유지하기 위해 할로겐 가스의 양을 조절합니다. 이렇게 하면 필라멘트가 안정적으로 유지되어, 전력을 빠르게 조절해도 고장이 나지 않습니다.
문제가 발생했을 때의 안전장치
우리는 단순히 유리가 견딜 수 있을 거라고 믿지 않습니다. 그건 너무 위험한 방법입니다.
대신, 모든 것을 보호하는 컨테이너 시스템으로 감싸놓습니다. 마치 안전장치와 같은 것입니다. 석영관이 고장 나더라도 파편들은 컨테이너 안에 머물러 웨이퍼에 닿지 않습니다.
또한, 연결 부위도 매우 중요합니다. 연결 부위가 제대로 맞지 않아 열이 집중되면 석영관이 깨질 수 있습니다. 우리는 정밀하게 가공된 전극을 사용하여 그런 문제를 방지합니다. 틈도 없고, 열팽창도 없으며, 균열도 생기지 않습니다.
타협의 현실
솔직히 말해서, 고밀도 적외선 가열은 균형을 잡는 작업입니다.
빠른 가열 속도를 얻으려면 램프를 고온으로 가동해야 합니다. 이로 인해 전원 공급 장치에 큰 부담이 가해집니다.
PID 제어기가 제대로 조절되지 않으면 과열이 발생할 수 있습니다. 그러면 램프의 수명이 단축됩니다. 안전장치가 있다고 해도 마찬가지입니다.
제 조언은, 고장이 날 때까지 기다리지 말고, 정해진 주기에 맞춰 램프를 교체하는 것입니다. 생산이 진행 중일 때 예기치 않은 고장을 처리하는 것보다는 스스로 램프를 교체하는 것이 훨씬 저렴합니다.