클래스 100(ISO 5) 등급의 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100(ISO 5) 환경에서 작업할 때는 기본적으로 먼지와 싸우는 것과 같습니다. 아주 작은 입자들도 모두 적입니다. 문제는 대부분의 일반적인 히터들이 사실상 문제를 일으킨다는 점입니다. 이러한 히터들은 가열되기 시작하면 미세한 입자들을 방출합니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 적외선 램프를 사용합니다.
왜 석영일까요?
그건 재료의 질 때문입니다. 우리가 사용하는 것은 매우 순수한 융합 실리카로, 아무리 높은 온도가 되어도 휘발성 유기 화합물(VOCs)이 새어나오지 않습니다. 석영관은 텅스텐 필라멘트를 안전하게 보호해 주는 역할을 합니다. 금속이나 세라믹 히터처럼 시간이 지나면서 산화되거나 부서지는 일이 없습니다. 따라서 웨이퍼나 기판에 필요한 열을 얻으면서도 원치 않는 문제가 생기지 않습니다.
전력과 ‘스트레스’ 요소
원하는 정확한 온도를 얻기 위해 전압과 와트수를 조절할 수 있습니다. 빠르게 작업해야 하고 처리 속도를 높여야 한다면, 고왓수의 램프를 사용하는 것이 좋습니다. 하지만 작은 공간에 더 많은 열이 가해지면 램프의 끝부분에 큰 부담이 생깁니다. 만약 짧은 길이의 램프에서 최대 와트수를 얻고 싶다면, 램프가 충분히 확장될 수 있도록 고정 장치를 제대로 설치해야 합니다. 석영은 가열될 때 팽창하기 때문에, 램프가 너무 단단히 고정되면 균열이 생길 수 있습니다.
설치 및 유지 관리
보통 R7s나 Sk15 커넥터를 사용합니다. 이러한 커넥터들은 배선을 단단히 고정시켜주고 진동으로 인한 문제를 방지해 줍니다. 대부분의 경우, 이러한 커넥터들은 기존의 산업용 적외선 램프에 그대로 연결됩니다.
시작하기 전에 몇 가지 주의사항이 있습니다.
첫째, 전원 공급 장치를 확인해야 합니다. 램프 자체는 깨끗하지만, 전원 공급이 불안정하다면 민감한 청정실 센서에 영향을 줄 수 있습니다. 좋은 필터를 사용하면 이 문제를 해결할 수 있습니다.
둘째, 이 램프들을 마치 유리처럼 다루어야 합니다. 실제로, 램프에 오염이 생기면 그 부분이 과열되어 램프가 너무 빨리 망가질 수 있습니다. 반드시 먼지가 없는 장갑을 착용해야 합니다. 예외는 없습니다.