빠른 반응 적외선 히터 전구

리소그래피 현장에서는 95℃ 소프트 베이크가 선택 사항이 아니다—규격이다. 온도가 ±0.5℃ 이탈하면 포토레지스트 프로파일이 변형된다. 간신히 유지하던 선폭 제어가 무너진다. 필요한 것은 즉각적으로 열을 전달하고 안정적으로 유지하며 청정실에 입자를 방출하지 않는 열이...