클린룸용 카트로 인해 손이 다치는 일을 멈추세요.
만약 여러분이 일반적인 클린룸용 카트를 사용해본 적이 있다면, 그 문제점을 잘 알고 있을 것입니다. 히팅 요소가 주변 공기 전체를 가열시키기 때문에 공기가 뜨거워지고, 카트의 내부 벽면도 그 열을 흡수합니다. 결국 카트의 외부도 뜨거워집니다. 이는 직접 그 카트를 만져야 하는 작업자들에게는 큰 골칫거리입니다.
우리는 더 좋은 방법이 있을 것이라고 생각했습니다. 전체 공간을 가열하는 대신, 실제로 열이 필요한 부분만 가열하는 것입니다.
실제 작동 원리
마치 손전등과 같은 원리입니다. 일반적인 히터는 공기와 카트의 금속 표면을 가열하지만, 우리는 단파 적외선 램프를 사용합니다. 이 빛은 공기나 카트의 벽면을 거의 고려하지 않고, 오직 작업물에만 도달합니다. 에너지는 목표물에 닿았을 때만 작용합니다. 그 결과, 작업물은 뜨거워지지만, 카트의 외부는 여전히 차갑습니다.
적절한 설정 방법
가장 좋은 점은 공간을 많이 절약할 수 있다는 것입니다. 열이 집중되기 때문에, 복잡한 단열층이나 시끄러운 냉각팬이 필요하지 않습니다. 게다가 클린룸에서는 팬이 오히려 해로울 수 있습니다. 왜냐하면 팬이 미세한 입자들을 날려버리기 때문입니다.
단순히 전력을 최대로 높이는 것은 안 됩니다. 와트수를 조절해야 합니다. 너무 세게 하면 웨이퍼가 과열될 수 있으며, 목표 온도를 초과할 수도 있습니다. 또한 PID 컨트롤러도 적절히 조정해야 합니다. 적외선 램프는 반응 속도가 매우 빠르므로, 제어 장치도 그에 맞게 조정되어야 합니다.
왜 이 방식이 더 좋은가?
이 방식은 팀에게 큰 도움이 됩니다. 장비를 이동할 때 손이 다칠 걱정이 없어집니다. 또한 구조도 더 간단해집니다. 벽면이 열을 흡수하지 않으므로, 내부 보호 장치도 필요 없습니다. 게다가 HVAC 시스템도 그다지 힘들게 작동할 필요가 없습니다. 왜냐하면 불필요한 열이 공간 전체로 퍼지지 않기 때문입니다.
이것은 하드웨어를 복잡하게 만들지 않으면서도 열을 효율적으로 관리할 수 있는 더 스마트하고 깔끔한 방법입니다.