MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 안전하게 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 매우 까다로운 작업입니다. 물을 빠르게 제거해야 하지만, 너무 세게 처리하면 기계적 스트레스가 생겨 부품이 손상될 수 있습니다. 우리는 적외선 히터와 금으로 코팅된 반사체를 함께 사용하...