Cara Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Mengeringkan wafer sensor MEMS merupakan proses yang memerlukan ketepatan yang tinggi. Air perlu dikeringkan dengan cepat, tetapi jika prosesnya dilakukan secara berlebihan, ia akan menyebabkan tekanan mekanikal pada komponen tersebut dan merosakkannya.
Kami telah menemukan cara untuk mengatasi masalah ini dengan menggunakan pemanas inframerah bersama-sama dengan reflektor yang dilapisi emas. Tujuannya adalah untuk memastikan haba tersebut sampai ke wafer, bukannya hanya memanaskan bahagian dalam mesin sahaja.
Mengapa emas?
Kebanyakan orang menggunakan reflektor aluminium, tetapi bahan ini akan membiarkan banyak tenaga inframerah terbuang begitu saja. Ia merupakan pembaziran tenaga. Kami menggunakan lapisan emas yang berkualiti tinggi kerana ia sangat efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Ia bukan sekadar cara untuk menambah haba, tetapi lebih kepada cara untuk mengarahkan haba tersebut ke wafer.
Yang terbaik ialah kita dapat mendapatkan aliran haba yang lebih intensif tanpa perlu menggunakan lebih banyak tenaga dari panel elektrik. Ini jelas lebih efisien.
Memastikan suhu yang sesuai
Dalam dunia MEMS, konsistensi sangat penting. Jika bahagian kiri wafer kering lebih cepat daripada bahagian kanan, ia akan menyebabkan wafer menjadi bengkok atau terdapat kesan sisa yang tidak diinginkan. Itu merupakan masalah besar.
Kami menghabiskan banyak masa untuk menyesuaikan bentuk reflektor agar haba dapat tersebar secara merata di seluruh permukaan wafer. Lapisan emas membantu memastikan haba tersebar secara merata.
Cabaran dan cara menanganinya
Masalahnya ialah apabila kita memberikan terlalu banyak tenaga kepada wafer, bahagian pemanas akan menjadi sangat panas. Anda tidak boleh mengabaikan hal ini. Anda perlu memastikan kipas penyejuk atau sistem penyejukan air berfungsi dengan baik. Jika aliran udara tidak mencukupi, elektrod akan menjadi terlalu panas dan jangka hayat pemanas akan berkurangan.
Selain itu, pastikan anda menggunakan pengawal PID yang tepat. Kerana sistem berlapis emas ini sangat sensitif terhadap perubahan kuasa, anda perlu menyesuaikan parameter pengawalan dengan teliti. Jika tidak, suhu wafer akan melebihi had yang ditetapkan.
Setelah semuanya disesuaikan dengan betul, anda boleh mengurangkan masa pengeringan sambil memastikan wafer tetap selamat. Ini merupakan penyelesaian yang ideal.