Berhenti menunggu proses pemanasan menggunakan oven biasa: Mengapa penggunaan haba inframerah lebih efektif dalam pemprosesan semikonduktor
Jika anda masih bergantung pada sistem pemanasan udara panas untuk pemprosesan semikonduktor, anda sebenarnya membuang banyak masa hanya untuk menunggu.
Fikirkan bagaimana cara kerja udara panas. Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, kemudian ruangan di mana semikonduktor berada, dan akhirnya wafer itu sendiri. Proses ini sangat lambat. Banyak tenaga yang terbuang hanya untuk menyiapkan persekitaran yang sesuai.
Penggunaan haba inframerah pula berbeza. Ia tidak memerlukan penggunaan udara sama sekali. Tenaga haba disalurkan terus ke permukaan semikonduktor. Proses ini lebih cepat.
Kelebihan utamanya ialah masa.
Dengan sistem udara panas, masa yang diperlukan untuk proses pemanasan sangat lama. Dengan lampu inframerah pula, suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam beberapa saat sahaja.
Saya sering melihat hal ini semasa proses penyembuhan dan penghapusan gas berbahaya dari semikonduktor. Dengan menghilangkan fasa pemanasan yang panjang ini, masa yang diperlukan untuk menyelesaikan satu kitaran proses dapat dikurangkan dengan ketara. Anda boleh memproses lebih banyak wafer setiap jam, tanpa perlu membeli mesin tambahan atau menyusahkan ruang kerja anda.
Namun, anda tidak boleh sekadar meletakkan lampu inframerah di situ saja. Haba yang dihasilkan sangat kuat. Jika kabel PVC atau silikon digunakan berhampiran lampu tersebut, ia akan cair atau rosak dengan cepat. Itulah sebabnya kita menggunakan kabel yang dilapisi Teflon. Kabel ini tidak rosak walaupun suhu menjadi sangat tinggi, jadi tiada risiko kerosakan atau keperluan untuk membaiki lampu tersebut secara mendadak.
Namun, ini bukan penyelesaian yang sempurna. Ada beberapa kelemahan. Udara panas akan memanaskan permukaan objek secara menyeluruh, sedangkan haba inframerah hanya memanaskan permukaan yang berada dalam jarak pandangan lampu tersebut. Jika lampu tersebut tidak dapat “melihat” permukaan tertentu, maka permukaan tersebut tidak akan dipanaskan.
Oleh itu, anda perlu memastikan posisi lampu tersebut tepat dan sudut pembiasan cahayanya juga betul. Jika permukaan semikonduktor memiliki bentuk yang kompleks, mungkin akan ada kawasan yang tidak dipanaskan dengan baik. Dalam kes seperti ini, anda mungkin perlu menggunakan sistem yang mempunyai beberapa sudut pancaran, atau menggunakan sistem hibrid untuk memastikan semua bahagian dipanaskan secara merata.
Walaupun memerlukan sedikit perancangan awal, kelajuan yang diperoleh amat berbaloi dengan usaha yang dilakukan.