Stop de schade door scherven: waarom we voor deze goudcoated lampen kozen
In een fabriek voor semiconductoren met hoge productie volumes is het niet alleen vervelend wanneer een lamp kapotgaat. Het is zelfs een nachtmerrie.
Wanneer een standaard kwartsbuis kapotgaat, stopt deze niet zomaar met werken. In feite explodeert de buis, waardoor er glasscherven en metalen deeltjes over de wafer worden gespoten. Eén slechte explosie kan al leiden tot grote schade aan de producten.
Daarom hebben we deze goudcoated lampen ontworpen. We wilden het probleem van ‘secundaire vervuiling’ voorgoed wegnemen.
Het ‘tube-in-a-tube’-principe
De constructie is vrij simpel: het verwarmende element zit in een tweede, buitenste kwartsmantel. Stel je dit voor als een soort veiligheidsnet. Als de binnenste buis door thermische schokken kapotgaat of als het gloeidraad uitbrandt, vangt de buitenste mantel alles op. De brokstukken blijven dus in de lamp zitten, in plaats van op de producten terecht te komen. Het is dus een fysieke barrière tussen de wafer en eventuele schade.
Waarom goud?
We gebruiken goud om de lampen te bekleden, maar dat is niet vanwege het uiterlijk. Het gaat eerder om de warmte-reflectie. Goud weerspiegelt infraroodstraling uitstekend. Hierdoor gaat de warmte niet verloren in het apparaat, maar wordt deze teruggekaatst naar het doelwit. Hierdoor wordt de warmtedichtheid op de wafer veel hoger. Dit betekent dat het mogelijk is om de gewenste temperaturen te bereiken zonder dat er meer energie nodig is. Bovendien helpt het om de warmte gelijkmatiger over de buis te verdelen. Hierdoor verdwijnen die vervelende ‘ hete plekken’, die normaal gesproken tot spanningen in het kwarts leidden en tot breuken tijdens intensieve gebruikscycli.
De nadelen (want er zijn altijd wel wat nadelen)
Er zijn een paar dingen waar je rekening mee moet houden. Omdat de goudlaag dun is, is ze gevoelig. Als je de laag tijdens de installatie schoonmaakt, raak je het warmteprofiel verstoord. Behandle deze lampen dus voorzichtig – gebruik handschoenen en vermijd alles wat schurend kan zijn. Vergeet ook niet om de lampen goed te koelen. Hoewel goud de warmte terugkaatst, blijven de uiteinden van de lamp nog steeds erg heet. Als de luchtcirculatie zwak is, zullen deze uiteinden oververhit raken en zal de levensduur van de lamp korter zijn. Houd ze koel, dan zullen ze langer meegaan.