Por que o aquecimento por radiação infravermelha é melhor que o uso de ar quente no processamento de wafers
Se você ainda está utilizando circulação de ar quente para o processamento profundo de semicondutores, provavelmente está perdendo muito tempo apenas esperando que o processo seja concluído. Migrar para o aquecimento por radiação infravermelha não é uma mera “atualização” desnecessária. Trata-se de uma maneira de evitar perdas de produtividade.
O problema com o ar quente Pense em como funciona o ar quente: há ventiladores que movem o ar quente, na esperança de que ele atinja o wafer e transfira energia suficiente para realizar o processo. Mas isso é lento. Há um atraso significativo. É como tentar aquecer um ambiente usando um secador de cabelo – você gasta muito esforço apenas para mover o ar.
O aquecimento por radiação infravermelha é diferente. Trata-se de radiação eletromagnética. A energia se move à velocidade da luz e atinge diretamente o wafer. Isso significa que o tempo necessário para aquecer o wafer diminui de minutos para segundos. É uma diferença enorme.
Eliminando os gargalos Em linhas de processamento profundo, o tempo é tudo. Geralmente, é nesse ponto que surgem os problemas.
Com lâmpadas de radiação infravermelha, você consegue um aquecimento direcionado. Você não desperdiça energia aquecendo toda a câmara só para levar um wafer à temperatura correta. Por isso, os controladores PID conseguem alcançar os pontos de controle muito mais rápido e com maior precisão.
Geralmente, usamos radiação infravermelha de onda curta ou média. Por quê? Porque precisamos que a energia penetre no material do wafer, e não apenas aqueça sua superfície.
Os desafios Porém, não basta simplesmente substituir o aquecedor por um de radiação infravermelha. A radiação infravermelha é direcional. Se a alinhamento das lâmpadas estiver incorreto ou se o wafer não estiver nivelado, haverá pontos quentes. É preciso ter muito cuidado com a distância focal das lâmpadas. Além disso, como a radiação infravermelha libera energia rapidamente, o sistema de resfriamento precisa ser eficaz. Se você não conseguir lidar com essa mudança térmica rápida durante o resfriamento, os wafers podem se deformar.
O que isso significa em termos práticos A realidade é que o uso de ar forçado é ineficiente. Você está pagando para aquecer ar que nem sequer toca no seu produto. Ao migrar para o aquecimento por radiação infravermelha, você reduz o espaço necessário para os equipamentos de aquecimento e diminui os tempos de processamento. Se você quer processar mais wafers sem precisar comprar mais máquinas, essa é a solução.