Как сушить пластины MEMS без проблем
Сушка плиток датчиков MEMS – это довольно сложная задача. Необходимо, чтобы вода исчезала как можно быстрее, но если использовать слишком высокую температуру, это может привести к механическим повреждениям деталей.
Мы нашли способ решения этой проблемы с помощью инфракрасных нагревателей в сочетании с отражателями, покрытыми золотом. Цель проста: обеспечить точное направление тепла на саму пластинку, а не только нагрев внутренней части устройства.
Почему именно золото?
Большинство людей используют алюминиевые отражатели, но они теряют значительное количество инфракрасной энергии. Это просто потраченная впустую энергия. Мы выбрали отражатели из высокочистого золота, потому что они отлично отражают ближнее инфракрасное излучение. Это значит, что фотоны, которые обычно рассеиваются вокруг, направляются прямо на пластинку.
Самое лучшее в этом подходе то, что можно достичь гораздо более высокой температуры без необходимости увеличения мощности электросети. Это делает процесс сушки более эффективным.
Как добиться правильной температуры
В мире MEMS крайне важна последовательность действий. Если одна сторона пластинки сушится быстрее другой, это может привести к ее деформации или появлению странных следов на поверхности. Это настоящая проблема.
Мы потратили много времени на настройку геометрии отражателей, чтобы избавиться от таких проблем. Золотой слой помогает равномерно распределять тепло по всей поверхности пластинки. Это делает процесс сушки более эффективным.
Проблемы и способы их решения
Проблема заключается в том, что при большой мощности нагревателя его корпус сильно нагревается. Это нельзя игнорировать. Необходимо проверить работу вентиляторов или водяных радиаторов, чтобы убедиться, что они способны справляться с высокой температурой. Если объем воздушного потока недостаточен, электроды перегреются, а срок службы нагревателя сократится.
Также необходимо использовать точный контроллер PID. Поскольку система с золотыми отражателями очень чувствительна к изменениям мощности, необходимо тщательно настроить параметры управления. В противном случае температура может превысить заданный уровень.
Как только все будет настроено правильно, можно значительно сократить время сушки, при этом сохраняя целостность пластинки. Это и есть идеальное решение.