บนพื้นโรงงาน คุณทราบดีถึงขั้นตอน: การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอบเพียง 0.5°C สามารถทำให้ขนาดสำคัญเปลี่ยนแปลงได้ในระดับนาโนเมตร และต่อมาคุณจะพบว่าต้องทิ้งงานจำนวนมาก โคมไฟแบบดั้งเดิมยังปล่อยโอโซนออกมา ซึ่งส่งผลต่อเลนส์และเคลือบผิวในห้องทำงาน จำนวนอนุภาคจึงเพิ่มขึ้น และคุณต้องกลับไปที่สายการผลิตเพื่อบำรุงรักษาที่ไม่ได้วางแผนไว้ เราจึงพัฒนาโคมไฟอินฟราเรดที่ปลอดโอโซนเพื่อกำจัดตัวแปรนี้ออกไป
สิ่งที่สำคัญใต้ฝากระโปรง
เราใช้ตัวปล่อยอินฟราเรดคลื่นสั้นที่จูนค่าเพื่อให้ดูดซับโดยตรงและรวดเร็วในโฟโตเรซิสต์และซับสเตรต โดยสเปกตรัมถูกปรับให้ลดการสร้างโอโซน ในระหว่างการอบแบบซอฟต์เบคและฮาร์ดเบค ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิทั่วแผ่นเวเฟอร์จะอยู่ที่ ±0.1°C ซึ่งช่วยให้ความหนืด ความหนา และความหยาบของขอบเส้นคงที่ การติดตามค่าเซตพอยต์อยู่ต่ำกว่า 50 ms ทำให้ควบคุมแบบปิดวงจรได้แม่นยำและงบประมาณความร้อนคงที่
การออกแบบเหมาะสำหรับห้องคลีนรูมระดับ Class 1–100 ชุดโคมไฟไม่ปล่อยอนุภาคเลย และซองควอตซ์ที่ปิดผนึกช่วยลดการระเหยของก๊าซ ผลลัพธ์คงที่ตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยความเข้มลดลงไม่เกิน 5% จึงสามารถใช้งานต่อเนื่อง 24/7 ได้โดยไม่ต้องปรับเทียบใหม่
ทำไมโคมไฟนี้จึงเหมาะกับงานลิโธกราฟี
กระบวนการโฟโตเรซิสต์ขึ้นอยู่กับโปรไฟล์อุณหภูมิที่ทำซ้ำได้ โคมไฟนี้ส่งมอบโปรไฟล์การอบที่ทำซ้ำได้ทั่วแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งช่วยเพิ่มผลผลิตและลดของเสีย เวลาในการตั้งค่าอุณหภูมิที่รวดเร็วช่วยลดรอบเวลาการผลิต โดยไม่ส่งผลกระทบต่อความสม่ำเสมอ การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากความร้อนถูกส่งตรงไปยังเป้าหมาย ไม่ใช่ไปทำความร้อนในห้อง
การไม่มีโอโซนช่วยลดเหตุการณ์ปนเปื้อน ยืดอายุเลนส์ และทำให้ช่วงเวลาบำรุงรักษาป้องกันคาดการณ์ได้
สิ่งที่ต้องวางแผนล่วงหน้า
โคมไฟต้องการแหล่งจ่ายไฟสะอาดเฉพาะ และความคลาดเคลื่อนในการติดตั้งต้องเข้มงวดเพื่อรักษาระยะโฟกัสและความสม่ำเสมอให้อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด สามารถผสานรวมกับแผ่นอบ/แผ่นเย็นและระบบติดตามที่มีอยู่ได้ง่าย แต่ต้องตรวจสอบการจัดแนวของอินเทอร์เฟซความร้อนในระหว่างการติดตั้ง
นอกจากนี้ยังมีช่วงเวลาระยะสั้นสำหรับการอุ่นเครื่องเพื่อให้สเปกตรัมเสถียร ควรคำนึงถึงขั้นตอนนี้ในกระบวนการตรวจสอบคุณภาพ เพื่อหลีกเลี่ยงปัญหาในรอบแรกของการใช้งาน