บนชั้นลิธอกราฟี การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 0.3°C ในระหว่างการอบซอฟต์เบคของฟิล์มพอลิเมอร์สามารถทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงความกว้างของเส้นผ่านการกัดกร่อนและส่งผลโดยตรงต่อการสูญเสียผลผลิต งบประมาณความร้อนไม่ให้โอกาสครั้งที่สองแก่คุณ เราได้สร้างระบบทำความร้อนแบบแบ่งโซนสำหรับโรงงานผลิตเวเฟอร์ที่ทันสมัยเพื่อรักษาอุณหภูมิให้คงที่ตามที่ต้องการ—บนเวเฟอร์ ทั่วทั้งพื้นผิว และภายในหน้าต่างกระบวนการ
สิ่งที่สำคัญในทางเทคนิคคือการควบคุมที่คุณสามารถไว้วางใจได้ แพลตฟอร์มนี้ใช้แผงอินฟราเรดคลื่นสั้นพร้อมการควบคุมการตอบสนองที่รวดเร็วในแต่ละโซน ทำให้ความสม่ำเสมอที่ระดับเวเฟอร์อยู่ที่ ±0.1°C ทั่วทั้งแผ่นความร้อน ความสามารถในการทำซ้ำของอุณหภูมิอยู่ที่ ≤±0.5°C จากล็อตหนึ่งไปยังล็อตถัดไป ซึ่งช่วยรักษาโปรไฟล์การอบฟิล์มพอลิเมอร์ที่สำคัญให้มีเสถียรภาพ ทำงานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่เพิ่มจำนวนอนุภาค—วัสดุที่ปล่อยก๊าซน้อยและโซนความร้อนที่ปิดผนึกทำให้เส้นตรงเรียบ คุณสามารถดำเนินการได้ตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันต่อสัปดาห์ โดยมี MTBF วัดได้ในหลักหมื่นชั่วโมง และการบำรุงรักษาที่คุณกำหนดเวลาได้ ไม่ต้องรีบเร่ง
ในการผลิต การทำความร้อนแบบแบ่งโซนช่วยเปลี่ยนแปลงความแปรปรวนของอุณหภูมิให้กลายเป็นตัวแปรที่คุณสามารถจัดการได้ โปรไฟล์การอบซอฟต์และอบแข็งติดตามสูตรอย่างแม่นยำ ซึ่งช่วยลดการกระจายของ CD และความหนาทั่วทั้งเวเฟอร์ หน้าต่างกระบวนการเปิดกว้างขึ้น การทำงานซ้ำลดลง และขยะลดน้อยลง การใช้พลังงานก็ลดลงเช่นกัน: การควบคุมโซนแบบเฉพาะที่ช่วยลดความร้อนที่สูญเสียไป และเวลาในการอุ่นระหว่างล็อตสั้นลง ผลที่ได้คือการทำลิธอกราฟีที่สม่ำเสมอ การกัดกร่อนและการเคลือบที่สามารถคาดเดาได้ และผลผลิตที่คงที่
นี่คือรายละเอียดปฏิบัติที่คุณต้องการ
การทำความร้อนแบบแบ่งโซนไม่ใช่การติดตั้งแบบเสียบปลั๊กแล้วเล่นได้โดยไม่มีการวางแผน พื้นที่และความสูงรอบแผ่นความร้อนและเส้นทางหุ่นยนต์ต้องได้รับการเคารพ—การปรับปรุงต้องสอดคล้องกับพลังงาน การระบายความร้อน และการระบายอากาศ ให้ตรงกับจำนวนโซนกับขนาดเวเฟอร์และเป้าหมายการยกเว้นขอบ และตั้งช่วงการสอบเทียบเพื่อรักษาความสม่ำเสมอที่ ±0.1°C เราให้สเปคการเชื่อมต่อไว้ล่วงหน้าเพื่อไม่ให้การติดตั้งกลายเป็นความเสี่ยงต่อกำหนดการ