Litozem üzerinde, tek bir su damlası bile tüm ürünlerin bozulmasına neden olabilir. Deiyonize su kullanarak yüzeyi temizlemek gerekir; eğer nem tam olarak giderilemezse, kirlenme riski ortaya çıkar ve böylece iyi bir fotoresist yapışması mümkün olmaz. Geleneksel kurutma yöntemleri, wafer üzerinde termal gradyentler oluşturur; bu da yumuşak ve sert kurutma işlemlerini bozar. Ayrıca, ısıtıcılar yeterince stabil değilse, bunların yaydığı parçacıklar temiz oda koşullarını bozabilir.
Peki bununla nasıl başa çıkılır? Biz, deiyonize suyu hızlıca kurutmak için kuvars kutular içinde yer alan kısa dalga infrakızıl ısı vericilerden yararlandık. Bu yöntem temas gerektirmez, hızlı ısınma sağlar ve tepki süresi saniyenin altındadır.
Wafer seviyesindeki termal düzenlilik, işlem süreci boyunca ±0.1°C aralığında kalır, böylece fotoresist üzerindeki boyutsal kontrolü kaybetmezsiniz. Çıkış gücü %10’dan %100’e kadar sabit kalır; bu da hatlar arası tekrarlanabilirliği artırır. Lambanın gövdesi Class 1–100 temiz odalar için uygundur ve 0.1 μm boyutundaki parçacık üretiminin yok olduğunu doğruladık. Güç yoğunluğu, yüzeydeki suyun uzaklaştırılmasını sağlayacak şekilde ayarlanmıştır; böylece termal denge korunur.
Wafer temizleme ve kurutma işlemlerinde bu cihaz hızlı ve eşit şekilde kurutma yapar; fotoresist işlemlerine geçmeden önce yüzeyde herhangi bir iz veya damla kalmaz.
Fotoresist işlemleri sırasında da aynı termal kontrol sayesinde CD kaymaları engellenir ve verimlilik artar. Isı doğrudan hedefe yönlendirildiğinden enerji tüketimi azalır.
Güvenilirliği, 24/7 çalışma koşullarında kanıtlanmıştır: 5.000 saatten fazla kullanımda %5’den az çıkış kaybı olmuştur ve yüksek kapasiteli üretim hatlarında hiçbir plansız durma yaşanmamıştır.
Kurulum için özel, korumalı bir güç kaynağı gereklidir; ayrıca ±0.1°C’lik düzenliliğin korunması için hat düzenlemeleri yapılmalıdır. Lamba, standart OEM arayüzleriyle uyumludur; ancak optik yolun su filmi ve yoğuşmadan arındırılması gerekmektedir. Nem döngülerinden kaçınmak için havalandırma sistemleri kullanılmalıdır.
Tekrarlanabilirliği korumak için ışın vericilerin her 1.000 saatte bir kalibrasyonunun yapılması gerekmektedir.