На поверхні кристала достатньо лише однієї краплі води, щоб зіпсувати весь виріб. Необхідно використовувати деіонізовану воду для очищення; якщо волога не буде повністю видалена, це призведе до забруднення поверхні кристала, а отже, і до погіршення якості зчеплення фотохімікату з поверхнею кристала. Традиційний спосіб сушіння створює температурні градієнти на поверхні кристала, що порушує параметри процесу сушіння. Крім того, якщо нагрівачі не є міцними, частинки, які вони виділяють, можуть підвищити кількість частинок у чистій кімнаті до нормативних значень.
Що ж робити? Ми створили пристрій для сушіння за допомогою деіонізованої води, який складається з короткохвильових інфрачервоних випромінювачів, розташованих у кварцовому корпусі. Цей пристрій не потребує контакту з поверхнею кристала, швидко нагріває поверхню та реагує протягом кількох секунд.
Температурна однорідність на поверхні кристала залишається в межах ±0,1°C протягом усього процесу, тож ви не втрачаєте контролю над розмірами поверхні кристала. Ефективність пристрою залишається стабільною в діапазоні від 10% до 100%, що дозволяє забезпечити високу точність обробки кристалів. Корпус пристрою придатний для використання в чистих кімнатах класу 1–100; ми переконалися, що пристрій не створює жодних частинок розміром 0,1 мкм. Інтенсивність випромінювання налаштована так, щоб вода з поверхні кристала видалялась без втрати розчинника, тож температурний баланс залишається в межах нормативних значень.
Під час очищення та сушіння кристалів цей пристрій швидко та рівномірно сушить поверхню кристала – без слідів чи нерівностей перед початком обробки фотохімікатом.
Під час процедури обробки фотохімікатом цей пристрій допомагає уникнути змін розмірів кристалів та підвищує їх якість. Витрати енергії зменшуються, оскільки тепло потрапляє безпосередньо на поверхню кристала, а не йде на нагрів навколишнього середовища.
Надійність пристрою підтверджена під час 24/7 роботи на виробництві: понад 5 000 годин роботи з відхиленням ефективності менше 5%, а також відсутність непланових перерв у роботі на лініях великого обсягу.
Для правильної роботи пристрою необхіден спеціальний захищений канал живлення та система регулювання напруги, яка забезпечує збереження температурної однорідності на рівні ±0,1°C. Пристрій сумісний зі стандартними інтерфейсами обладнання виробника, але необхідно підтримувати чистоту оптичного шляху від водяних плівок та конденсату – для цього потрібно використовувати системи подачі чистого повітря чи локальну вентиляцію.
Рекомендується калібрувати випромінювачі кожні 1 000 годин, щоб забезпечити необхідний рівень повторюваності результатів обробки.