Чому ми відмовляємося від гарячого повітря на користь інфрачервоних ламп у процесі сушіння напівпровідників
Будемо чесні: саме на етапі промивання все зазвичай сповільнюється. Протягом багатьох років для цієї мети використовувався гарячий повітря. Але це означає необхідність нагрівання всієї кімнати лише для того, щоб сушити пластину. Це здається марною тратою часу та електроенергії.
Саме тому ми перейшли на використання водонепроникних інфрачервоних ламп. Замість нагрівання кімнати, ці лампи направляють енергію безпосередньо на поверхню пластини. Це зовсім інший підхід до розв’язання проблеми.
Усе залежить від часу
Гаряче повітря діє повільно – йому потрібен час, щоб видалити вологу та нагріти повітря. Інфрачервоні лампи ж діють миттєво. Йдеться про секунди, а не хвилини. Якщо скоротити час обробки однієї партії продукції, то продуктивність значно зросте. Саме тому лінії, які працюють з великими обсягами продукції, переходять на використання інфрачервоних ламп.
Проблеми з вологою
Зазвичай інфрачервоні лампи не можуть функціонувати разом із водою. Звичайні лампи швидко згорають, коли потрапляють у вологе середовище чи під дію крапель води. Ми вирішили цю проблему, використовуючи герметичні кварцові корпуси та міцні заглушки. Це дозволяє уникнути потрапляння вологи та захистити нитку лампи. Таким чином можна отримати високу щільність тепла без ризику короткого замикання через воду. Лампи можуть функціонувати навіть прямо над басейнами для промивання.
Кілька моментів, на які варто звернути увагу
Це не є чимось чарівним – є певні компроміси. Оскільки інфрачервоні лампи виділяють велику кількість тепла дуже швидко, необхідно правильно контролювати температуру. Якщо надто підвищити потужність ламп, можна пошкодити конструкцію чи сусідні датчики. Щоб уникнути цього, рекомендується використовувати контролер PID для регулювання потужності. Це допоможе уникнути перегріву поверхні пластини. Таким чином можна зберегти стабільність процесу.