Trong quá trình phân phối nhiệt, yếu tố quan trọng nhất chính là việc kiểm soát nhiệt độ. Có thể xuất hiện những điểm nóng trong quá trình đông cứng hỗn hợp epoxy, hoặc sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình xử lý phim quang học. Điều này khiến việc kiểm soát chiều rộng của các đường dây và độ phẳng của các bộ phận trở nên khó khăn. Do đó, bộ sưởi cần phải duy trì nhiệt độ ổn định, giống nhau ở mọi con chip, mọi lô sản phẩm, và trong suốt quá trình sản xuất.
Điều quan trọng thực sự Chúng tôi chọn bộ sưởi loại WLP với nguồn sưởi là tia hồng ngoại ngắn bước sóng từ các bộ phát quang cầu thạch anh. Phương pháp sưởi này mang lại hiệu quả cao, giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Trên toàn bộ khu vực được xử lý, nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C, được đo trên bề mặt silicon thô bằng các cặp nhiệt điện tử. Thời gian phản ứng của bộ sưởi chỉ trong vài giây, điều này rất quan trọng khi cần kiểm soát chặt chẽ quá trình sản xuất. Môi trường sản xuất loại Class 1–100 được đảm bảo nhờ thiết kế ít phát khí và không tạo ra hạt bụi trong quá trình hoạt động. Bộ sưởi có thể hoạt động 24/7, với thời gian bảo trì lên đến hàng nghìn giờ.
Tại sao bộ sưởi này phù hợp cho quy trình sản xuất Trong quá trình phân phối nhiệt, người ta cần sấy khô phim quang học, đông cứng chất lấp đầy khoảng trống giữa các linh kiện, sau đó làm nóng các bộ phận cần được kết nối với nhau. Mỗi bước trong quy trình này đều ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Bộ sưởi giúp duy trì nhiệt độ ổn định, giúp các kích thước quan trọng của linh kiện vẫn nằm trong giới hạn cho phép, đồng thời giảm thiểu các khoảng trống không cần thiết. Độ đồng đều cao giúp giảm tỷ lệ sản phẩm bị hỏng ở các mép wafer, và tính lặp lại cao giúp việc chuyển giao giữa các lô sản phẩm trở nên dễ dàng hơn. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt vì các bộ phát quang cầu thạch anh chỉ làm nóng khu vực cần xử lý, chứ không phải toàn bộ buồng sản xuất. Kết quả là số lượng chip chất lượng cao trên mỗi wafer tăng lên, số lần sửa chữa giảm đi, và thời gian hoạt động của máy móc cũng được tăng lên.
Những điều cần lưu ý ngay từ đầu Bộ sưởi có thể được lắp đặt vào các thiết bị phủ lớp chất bảo vệ hoặc máy ép hiện có, nhưng kích thước và cấu trúc của bộ sưởi cần phải phù hợp với thiết bị đó. Bạn cần có nguồn điện riêng và hệ thống bảo vệ chống nhiễu điện từ cho các khu vực nhạy cảm. Khi nhiệt độ vượt quá 250°C, cần chú ý đến các tiếp xúc giữa thạch anh và gốm – chúng tôi cung cấp đồ thị về mối quan hệ giữa nhiệt độ và hiệu suất hoạt động của bộ sưởi. Hãy lên kế hoạch tích hợp bộ sưởi sớm, để quy trình sản xuất diễn ra thuận lợi.