Trên sàn sản xuất, bạn đã quen với quy trình: sự lệch 0,5°C trong nhiệt độ nung có thể làm thay đổi kích thước quan trọng đến mức nanomet, và ngay lập tức bạn phải loại bỏ một lượng lớn sản phẩm. Đèn truyền thống cũng tạo ra ozone trong quá trình hoạt động, gây ăn mòn quang học và bám lớp phủ trong buồng. Số lượng hạt bụi tăng lên, và bạn lại phải tạm dừng để bảo trì không kế hoạch. Chúng tôi đã phát triển đèn hồng ngoại không tạo ozone để loại bỏ biến số này.
Những yếu tố quan trọng bên trong
Chúng tôi sử dụng bộ phát hồng ngoại sóng ngắn được điều chỉnh để hấp thụ nhanh và trực tiếp trên lớp photoresist và nền, với phổ bước sóng được thiết kế để hạn chế sinh ozone. Trong quá trình soft bake và hard bake, độ đồng đều nhiệt trên wafer duy trì ở ±0,1°C, giữ ổn định độ nhớt, độ dày và độ nhám mép đường nét. Việc theo dõi điểm đặt nhiệt độ dưới 50 ms, giúp kiểm soát vòng kín chặt chẽ và ngân sách nhiệt ổn định.
Thiết kế phù hợp cho phòng sạch Class 1–100. Bộ đèn không phát sinh hạt bụi, và vỏ thạch anh kín hạn chế khí thải ra ngoài. Công suất duy trì ổn định trên 5.000 giờ hoạt động, với mức giảm cường độ dưới 5% — cho phép vận hành liên tục 24/7 mà không cần hiệu chuẩn lại.
Lý do ứng dụng trong công nghệ lithography
Quá trình xử lý photoresist phụ thuộc vào các chu trình nhiệt độ có thể tái hiện chính xác. Đèn này cung cấp các chu trình nung ổn định trên toàn bộ wafer, tăng tỷ lệ thành phẩm và giảm lượng phế phẩm. Thời gian ổn định nhiệt nhanh hơn giúp rút ngắn chu trình sản xuất mà không ảnh hưởng đến độ đồng đều. Tiêu thụ năng lượng giảm vì nhiệt tập trung trực tiếp lên vật liệu, không làm nóng buồng.
Việc không sinh ozone giảm các sự cố nhiễm bẩn, kéo dài tuổi thọ quang học và giúp dự đoán được thời gian bảo trì phòng ngừa.
Những điểm cần lưu ý khi lập kế hoạch
Đèn yêu cầu nguồn điện riêng biệt, sạch và dung sai lắp đặt phải chặt chẽ để giữ khoảng cách tiêu cự và độ đồng đều đúng theo thiết kế. Nó dễ dàng tích hợp với các tấm bake/chill và hệ thống băng tải hiện có, nhưng cần kiểm tra căn chỉnh giao diện nhiệt khi lắp đặt.
Ngoài ra, cần một khoảng thời gian làm nóng ngắn để đạt ổn định phổ bước sóng — cần tính đến trong quá trình đánh giá quy trình để tránh lỗi trong lần chạy đầu tiên.