在引线分配过程中，关键在于控制温度。在环氧树脂固化时可能会出现局部过热现象，而在光刻胶烘烤过程中则可能出现温度偏差。这样一来，就不得不同时应对线宽控制以及凸点的平面度问题。因此，加热器必须能够为每一个芯片、每一批产品以及每个生产班次提供稳定的温度。
真正重要的事情 我们设计的引线分配用加热器采用了短波红外卤素石英发射器。这种加热方式速度快，能够有效控制温度。在活性区域，其温度均匀性可达到±0.1°C，这一数值是通过在裸硅片上安装热电偶来测量的。响应速度极快，这对于实现精确的闭环控制非常重要。由于采用了低气体释放设计，该加热器在稳定运行时不会产生任何颗粒物。在实际应用中，它可以24/7持续运转，且无需频繁维护。
为何它能在生产中保持稳定性能 在引线分配过程中，需要先对光刻胶进行烘烤，再让填充材料固化，最后让凸点重新熔化——每一步都是影响成品率的关键环节。加热器能够稳定温度，从而确保关键尺寸符合标准，同时减少填充材料的空隙。良好的温度均匀性可以减少因边缘缺陷导致的废品率，而重复性则使得不同批次之间的转换更加容易。此外，由于石英发射器直接对目标区域进行加热，而不是整个腔室，因此能耗较低。这样，每块晶圆上就能有更多合格的芯片，同时也能减少返工次数，从而提高生产效率。
前期需要注意的事项 虽然这种加热器可以安装在现有的涂覆/烘烤设备中，但其安装尺寸和接口必须与设备相匹配。此外，还需要为易受电磁干扰的区域提供专用的电源供应以及符合标准的屏蔽措施。当设定温度超过250°C时，需要注意石英和陶瓷材料之间的接口问题——我们提供了相关的温度降额曲线。尽早规划好集成方案，就能更快地开始生产。