
在半导体制造过程中,封装内部的填充材料固化环节是决定产品性能与良率的关键所在。如果某个封装的填充材料未完全固化,那么在回流焊之后就容易出现分层现象,同时Cpk值也会超出标准范围。我们采用了NIR技术来确保填充材料的均匀固化,这样就能确保每个产品的热性能都符合标准,不会超出允许范围。
从技术层面来看,重要的是: 在填充材料固化过程中,芯片表面的温度均匀性可以控制在±0.1°C以内,而且这种均匀性能够保持稳定。NIR光能能够快速穿透填充材料,使其固化,而不会对基板造成损害,因此热量负荷始终处于可控范围内。该系统可以24/7持续运行,且不会产生任何颗粒物,同时还能满足1-100级洁净室的要求,从而确保在光刻和封装过程中的颗粒数量保持在可控范围内。温度控制效果与常规的软烘烤和硬烘烤工艺相当——光阻层的完整性得以保持,关键尺寸也不会发生变化。
这就是为什么NIR技术适用于大规模生产的原因:它能够加快固化速度,同时不会影响填充材料的粘附性和形状。良好的温度均匀性则有助于减少废品率和返工次数。由于固化过程迅速且精准,能源消耗也有所降低。此外,重复性高的特点还有助于保持整体生产效率的稳定性。从芯片到最终封装产品,都能实现稳定的粘附效果,热膨胀系数也易于控制,从而减少因热循环带来的故障。
简而言之,NIR技术能够确保填充材料的均匀固化,从而提升生产效率。对于那些形状复杂的部件,则需要采用特殊的固定装置或额外的固化步骤。调试过程很简单——只需调整灯具的参数、输送带的速度以及填充材料的发射率即可。一旦调试完成,该工艺就可以适用于各种不同的产品。不过,如果更换了填充材料的配方,就需要重新进行调试,以确定最佳的固化条件。