晶圆加工设备用温度传感器

如何消除灰尘：如何实现真正无污染的加热效果 在100级洁净室中，哪怕只有一粒灰尘存在，都会带来严重后果。如果加热元件开始脱落颗粒或释放有害气体，那不仅会损坏几块晶圆，还会让整批产品都报废。这简直就是一场噩梦。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。**秘诀就在于玻璃材质本身。**普通玻璃中含有...