如何消除灰尘：如何实现真正无污染的加热效果
在100级洁净室中，哪怕只有一粒灰尘存在，都会带来严重后果。如果加热元件开始脱落颗粒或释放有害气体，那不仅会损坏几块晶圆，还会让整批产品都报废。这简直就是一场噩梦。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。**秘诀就在于玻璃材质本身。**普通玻璃中含有大量金属杂质。当它反复经历加热和冷却的过程时，就会开始出现碎裂现象。虽然碎裂的量不多，但足以影响产品的质量。而我们使用的则是熔融石英——它非常纯净，不会留下任何残留物，也不会在晶圆上形成瑕疵，更不会发生颗粒脱落的情况。
无风加热
最棒的是，这些灯依靠辐射热来加热。由于能量是以辐射形式传递的，因此无需用强制气流来加热晶圆。没有空气流动，也就不会搅动那些容易堆积在设备中的灰尘。
这些灯的升温速度非常快，可以立即将热量传递到所需的位置。不过需要注意的是，这类灯会产生大量热量。如果设备的散热系统不够好，这些热量就会直接影响电子元件。因此，必须确保散热系统能够跟上功率需求，否则只会换来新的问题。
长期保持清洁
我们设计的这些灯可以直接替代现有的灯泡，这样就不需要花费大量时间来安装它们。此外，我们还使用镀金或高级合金材质的导线。因为氧化会导致微小的碎屑产生，而这些碎屑会在真空环境中漂浮。通过防止氧化，我们可以保持真空环境的清洁。
最后一点：在打开开关之前，请务必检查电压是否正确。如果给高纯度灯管施加过高的电压，会缩短其使用寿命。更糟糕的是，石英材料可能会因为应力而破裂，从而导致真空环境被破坏。这可不是什么愉快的事情。