Správné získávání teplotních dat pro infračervené polovodičové ohřívače
Pokud budujete chytrou výrobní linku, pravděpodobně jste si uvědomili, že samotné měření teploty nestačí. Potřebujete data, která vám skutečně ukážou, co se s vaším waferem děje v reálném čase. Pro nás to znamená použití specializovaných termoelementů spolu s infračervenými systémy, abychom zajistili, že teplo vycházející z lampy skutečně dopadá na povrch přesně tak, jak chceme.
Podrobnosti o infračerveném senzorování
Infračervené systémy mají velký výkon – dodávají energii opravdu rychle. Aby bylo možné s tím držet krok, potřebujete termoelementy, které dokážou reagovat stejně rychle.
V digitálním prostředí sensor nejenže informuje o tom, že ohřívač pracuje, ale také neustále posílá údaje o napětí zpět do PLC, aby bylo možné v reálném čase upravovat parametry ohřevu.
Ale dejte pozor na „termickou hmotnost“ – pokud je váš sensor příliš objemný, reaguje pomalu. A v této oblasti znamená pomalá reakce to, že dosáhnete nadměrné teploty. To může poškodit wafer. Proto používáme tenké termoelementy – ty zajišťují rychlou reakci.
Užitečnost dat
Skutečnou výhodou digitalizované výrobní linky je úroveň detailů, které získáte. Tyto senzory připojujeme do systému, který zaznamenává každý drobný pokles nebo nárůst teploty.
Kromě toho vám to umožňuje vidět, kdy se vaše zařízení začíná opotřebovávat. Pokud si všimnete, že systém spotřebovává více energie než obvykle jen proto, aby dosáhl stejné teploty, víte, že se váš ohřívač opotřebovává. Můžete ho prostě vyměnit během plánované pauzy, místo abyste řešili problémy uprostřed výroby.
Kompromisy (protože nic není dokonalé)
Přesnost nemá cenu. Ty vysoce citlivé termoelementy jsou křehké.
Jelikož pracujete v prostředí s vysokým výkonem, samotné senzory mohou být ovlivněny zářivým teplem. To způsobuje chyby v měřeních.
Musíte pečlivě chránit vodiče senzorů. Pokud nevyberete izolaci, která odolá teplu uvnitř komory, izolace se roztaví. Poté selže tok dat a budete pracovat bez informací.