Auf der Lithografiebühne ist ein 95°C Soft-Bake keine Option – es ist die Spezifikation. Sie lassen diese Temperatur um ±0,5°C abweichen, und das Fotoresistprofil verschiebt sich. Die Linienbreitenkontrolle, für die Sie schwitzen, bricht zusammen. Was Sie brauchen, ist Wärme, die sofort ankommt, stabil bleibt und keine Partikel in den Reinraum abgibt.
Was unter der Haube zählt
Wir betreiben schnell reagierende Infrarot-Heizlampen – kurzwellige Halogenelemente in einem hochreinen Quarzgehäuse. Sie erreichen die Temperatur in Millisekunden, was Ihnen eine enge geschlossene Regelung ermöglicht. Die Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene bleibt innerhalb von ±0,1°C über der Backfläche. Die Geometrie der Glühdrähte und das Layout der Reflektoren sind so gestaltet, dass Hotspots und Randverrollungen minimiert werden, sodass jeder Chip das gleiche thermische Budget erhält. Diese Lampen sind für Reinräume der Klassen 1–100 ausgelegt, und wir überprüfen die Null-Teilchen-Generierung mit in-situ Monitoring während langer Betriebszeiten.
Warum es bei der Fotoresistverarbeitung Bestand hat
Sowohl beim Soft-Bake als auch beim Hard-Bake ist Wiederholbarkeit das Maß. Die schnelle Reaktion verkürzt die Anlaufzeit, sodass Sie die Zykluszeit verkürzen können, ohne die Profilkontrolle aufzugeben. Reinraumkompatible Materialien und solide Dichtungen verhindern Ausgasung und Kontamination – die Partikelzählung bleibt konstant, und die Betriebszeit des Werkzeugs bleibt hoch. Sie verbrauchen auch weniger Energie, da der Heizkörper Wärme nach Bedarf liefert und zwischen den Backvorgängen schnell abkühlt, wodurch thermische Trägheit und Abfall reduziert werden.
Worauf Sie achten müssen
Die Installation hängt davon ab, das Werkzeug anzupassen: Steckdose, Spannung und Öffnungsgeometrie. Wenn die Reflektoren nicht übereinstimmen oder die Halterungen zu klein sind, werden Sie Ungleichmäßigkeiten feststellen. Erwarten Sie einen Kompromiss: Die Spitzenleistungsdichte bietet Geschwindigkeit, erfordert jedoch eine stabile Kühlung und saubere elektrische Kontakte. Wir stellen Maßzeichnungen und Kalibrierungspläne für jede Lampe zur Verfügung, sodass Sie integrieren können, ohne das gesamte thermische System neu qualifizieren zu müssen.