En el proceso de litografía, la cocción del fotorresistente no es simplemente un paso más; se trata de un proceso térmico que no se puede descuidar. Una desviación de medio grado en la temperatura de cocción puede afectar el control de las dimensiones críticas del chip y alterar el perfil de las paredes laterales del mismo. Los hornos convencionales presentan problemas relacionados con la masa térmica, las rampas de calentamiento lentas y el riesgo constante de presencia de partículas. El secador por infrarrojos compacto para chips está diseñado para eliminar todos estos problemas.
Lo que realmente importa
Utilizamos emisores de luz infrarroja cercana (NIR), con un diseño sin halógenos y de onda corta, lo que permite transmitir energía directamente al chip. Esto permite una estabilización en menos de 10 segundos, además de una uniformidad de temperatura de ±0.1°C en toda la superficie del chip. La repetibilidad de la temperatura entre diferentes ciclos de cocción es de ±0.2°C, lo que permite mantener un margen de error muy reducido en el proceso de cocción del fotorresistente. Este dispositivo es compatible con salas limpias de clase 1–100, cuenta con ventanas de cuarzo selladas y un sistema de extracción de aire que evita la generación de partículas durante su funcionamiento. El control se realiza mediante un sistema PID, con compatibilidad con SECS/GEM, lo que permite registrar los parámetros de cocción en todo momento.
Por qué es adecuado para la línea de producción
Se utiliza en chips de 200 mm y 300 mm, así como en capas finas de fotorresistente. Los sistemas térmicos requieren precisión extrema. Este secador permite un calentamiento rápido, sin exceder los límites establecidos, lo que reduce el tiempo de ciclo y el consumo de energía. Puede integrarse fácilmente en herramientas ya existentes o en estaciones independientes. Su tamaño es suficientemente pequeño como para no ocupar demasiado espacio en el suelo. Se espera una menor cantidad de chips defectuosos, una distribución más precisa de las dimensiones críticas y un rendimiento predecible. La fiabilidad del dispositivo es alta, ya que puede funcionar 24/7, con un tiempo mínimo de mantenimiento.
Los detalles que garantizan su eficacia
La luz infrarroja calienta rápidamente, por lo que es necesario tener en cuenta el acoplamiento térmico. El soporte del chip debe adaptarse perfectamente a la superficie posterior del mismo. Ofrecemos soportes tanto estándar como personalizados para asegurar un contacto preciso. Es necesario realizar pruebas iniciales para ajustar las velocidades de calentamiento y evitar cualquier desviación en los parámetros de cocción. Los requisitos de alimentación son sencillos: 110–240 V, aire comprimido y sistema de extracción de aire. Pero es necesario verificar la tensión eléctrica local y la presión en la sala limpia antes de instalarlo.