Deje de desperdiciar calor: una forma mejor de calentar sus obleas Calentar una oblea de silicio requiere precisión. Pero aquí está el problema: las...

Mantener todo seguro al calentar obleas en presencia de sustancias químicas volátiles Seamos honestos: calentar obleas en una zona de limpieza...

Secar las obleas de sensores MEMS sin problemas Secar las obleas de sensores MEMS es algo delicado. Es necesario que el agua desaparezca rápidamente,...

¿Por qué la calefacción por infrarrojos es mejor que el aire caliente para el procesamiento de obleas? Si todavía utiliza circulación de aire...

Detener el polvo: cómo lograr una calefacción sin contaminación alguna En una sala limpia de clase 100, incluso una sola partícula de polvo puede ser...

Deje de perder su energía en vano: una forma mejor de curar las obleas Si utiliza una lámpara IR sin reflector para curar las obleas, en realidad...

Introducción Cuando se opera una línea de secado de obleas, nada es más importante que mantener las ruedas en funcionamiento continuo. La...

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En la planta de fabricación, ya se sabe cómo funciona todo: un error de solo unos pocos grados en la temperatura de cocción del fotorrésisto puede...

En la planta, el wafer sale del enjuague final — y ahí es cuando comienza a correr el tiempo. Si se demora demasiado en la zona húmeda, observará el...

En la planta de litografía, una deriva de 0.3°C durante el horneado suave de la fotorresina puede provocar desviaciones en el ancho de línea durante...

En la línea, el presupuesto térmico de un wafer está fijado. Un punto caliente durante el burn-in y el mecanismo de falla se introduce en los datos...